中華人民共和國國家標準

發光二極管工廠設計規范

Code for design of light emitting diode plant

GB 51209-2016

主編部門:中華人民共和國工業和信息化部

批準部門:中華人民共和國住房和城鄉建設部施行日期:2017年7月1日

中華人民共和國住房和城鄉建設部公告第1352號

住房城鄉建設部關于發布國家標準《發光二極管工廠設計規范》的公告

現批準《發光二極管工廠設計規范》為國家標準，編號為GB 51209-2016，自2017年7月1日起實施。其中，第8.2.3、8.3.3(1)、8.3.9、8.3.11、10.2.9條(款)為強制性條文，必須嚴格執行。

本規范由我部標準定額研究所組織中國計劃出版社出版發行。

中華人民共和國住房和城鄉建設部

2016年10月24日

前言

根據住房城鄉建設部《關于印發<2010年工程建設標準規范制訂、修訂計劃>的通知》(建標[2010]43號)的要求，由工業和信息化部電子工業標準化研究院電子工程標準定額站與中國電子工程設計院會同有關單位共同編制完成。

在規范編制過程中，編寫組根據我國發光二極管工廠的設計、建造和運行的實際情況，進行了廣泛的調查研究，收集了有關發光二極管工廠的設計要求，認真總結實踐經驗，同時考慮我國目前生產的現狀，參考國外有關的標準規范，廣泛征求了國內有關單位與專家意見，最后經審查定稿。

本規范共分13章和3個附錄，主要技術內容包括：總則，術語，基本規定，工藝，總圖，建筑，結構，動力及氣體工程，供暖、通風、空氣調節與凈化，給水排水，電氣，防靜電和空間管理等。

本規范中以黑體字標志的條文為強制性條文，必須嚴格執行。

本規范由住房城鄉建設部負責管理和對強制性條文的解釋，由工業和信息化部負責日常管理，由中國電子工程設計院負責具體技術內容的解釋。執行過程中如有意見或建議，請寄送中國電子工程設計院(地址：北京市海淀區西四環北路160號，郵政編碼：100142，傳真：010-88193999)，以便今后修訂時參考。

本規范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人：

主編單位：工業和信息化部電子工業標準化研究院電子工程標準定額站

中國電子工程設計院

參編單位：世源科技工程有限公司

信息產業電子第十一設計研究院科技工程股份有限公司

上海電子工程設計研究院有限公司

廈門市三安光電股份有限公司

主要起草人：羅橋 張東 晁陽 趙廣鵬 鄭秉孝 李驥 秦學禮 肖紅梅 李錦生 吳曉斌 鐘景華 張曉敏 韓方俊 薛長立 陳陣 李志偉 黃繼紅 云庚 王立 趙玉娟

主要審查人：徐征 杜寶強 呂婌宜 張同億 任兆成 李道本 任向東 施紅平 劉國旭

以下規范內容由合景凈化工程公司http://www.mzbbs.cn/進行整理編輯

1總則

1.0.1 為規范發光二極管工廠設計，做到安全適用、確保生產、經濟合理、技術先進、環境保護，制定本規范。

1.0.2 本規范適用于新建、擴建和改建的發光二極管工廠的工程設計。

1.0.3 發光二極管工廠設計除應執行本規范外，尚應符合國家現行有關標準的規定。

2術語

2.0.1 發光二極管 light emitting diode(LED)

一種能夠將電能轉化為可見光的固態半導體器件。

2.0.2 外延 epitaxy

在單晶襯底(基片)上生長一層或多層有一定要求的、與襯底晶向相同或相似的單品層的生長技術。

2.0.3 金屬有機化合物化學氣相沉積 metal-organic chemical vapor deposition(MOCVD)

以Ⅲ族、Ⅱ族元素的金屬有機化合物和Ⅴ、Ⅵ族元素的氫化物等作為品體生長原材料，以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延，生長各種Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導體及其多元薄層單晶材料的工藝過程。

2.0.4 空間管理 space management

為有效利用空間、縮短工作流程，對大到整個廠區的建筑物布局、地下管線規劃，小到一棟建筑物內部各個專業間的配置協調而進行的設計。

3基本規定

3.0.1 發光二極管工廠設計應滿足發光二極管產品生產工藝要求，并應根據具體情況為今后生產發展或生產工藝改進的需要預留條件。

3.0.2 發光二極管工廠設計應根據生產工藝的特點，采用節能環保的新技術、新設備、新材料。

3.0.3 發光二極管工廠設計應為施工安裝、調試檢測和安全運行、維護管理創造條件。

4工藝

4.1 一般規定

4.1.1 發光二極管工廠工藝設計應符合下列規定：

1 采用效率高的生產工藝；

2 提高工藝流程的合理性；

3 采用經濟、適用的工藝參數；

4 具有適度的靈活性和適應性。

4.1.2 工藝設計應滿足工藝生產的要求，并為產品的規模化生產、升級改造預留下列條件：

1 工藝設備數量增加、工藝設備占地面積增加所需要的面積條件；

2 工藝設備變更、工藝設備高度增加所需要的空間條件；

3 工藝設備變更、工藝設備數量增加所需要增加的動力條件。

4.1.3 生產線的產能設計應符合經濟規模要求;當生產線需分期實施時，工藝設計中應預留動力條件。

4.1.4 工藝設計應明確生產環境和動力供應要求，并應滿足生產工藝和設備正常運行的要求。主要工序生產環境要求可按照附錄A執行。

4.1.5 工藝設計應明確工藝生產動力品質要求。發光二極管生產工藝動力品質要求可按照附錄B執行。

4.1.6 主要生產車間的生產設備宜連續運轉，其他輔助生產車間可根據其具體特點靈活配套。

4.2 基本工序與生產協作

4.2.1 生產的基本工序應根據產品的生產工藝確定。生產工序可根據附錄C所列的工藝流程確定。

4.2.2 生產的主要工序宜完整，輔助生產工序可通過外協方式完成。

4.2.3 在工藝設計中，根據外協的具體內容及要求設置滿足外部協作需要的相關配套設施。

4.2.4 工藝設計應滿足發光二極管工廠的生產、輔助生產、管理和運營設施、勞動安全、職業衛生和環境保護等管理、檢測、教育和培訓設施的設計要求。

4.3 工藝區劃

4.3.1 生產廠房內的工藝功能區應依據生產的工藝流程，按照生產的基本工序進行劃分，相同的工序宜集中布置。典型的工藝流程可按照附錄C設置。

4.3.2 生產廠房內的工藝區應分別設置人員出入口、物料出入口。

4.3.3 工藝平面布置應設置設備搬入口和設備搬入通道。

4.3.4 生產區的參觀設施，應與生產環境相隔離。

4.4 設備布置

4.4.1 振動敏感設備宜遠離振動源布置。

4.4.2 生產設備宜根據工藝流程集中布置，并考慮設備搬運、維修空間。

4.4.3 金屬有機化合物化學氣相沉積設備及其輔助設備宜集中布置。

4.4.4 氣瓶柜、尾氣處理設備、氣體純化柜等金屬有機化學氣相沉積設備的輔助設備的布置方式，應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016和《特種氣體系統工程技術規范》GB 50646的有關規定。

5總圖

5.1 廠址選擇

5.1.1 發光二極管工廠的廠址選擇應按建設規模、原材料供應、供電、供水、供氣、工程地質和企業協作條件、場地現有設施、環境保護等因素進行技術經濟比較后確定。

5.1.2 廠址選擇應符合下列規定：

1 避免生產的危險或有害因素對周邊人群居住或活動環境造成污染與危害;

2 避開空氣經常受懸浮物污染的地區；

3 場地應相對平整，距外界強振源較遠。

5.1.3 廠址不應選擇在下列地區：

1 易受洪水、潮水、內澇威脅的區域；

2 工程地質、水文復雜的地帶和地震設防烈度高于9度的地區；

3 采礦陷落(錯動)區界限內；

4 重要的供水水源衛生保護區；

5 Ⅳ級自重濕陷性黃土、厚度大的新近堆積黃土、高壓縮性的飽和黃土和Ⅲ級膨脹土等工程地質地區；

6 有用礦藏地區。

5.2 總平面布置

5.2.1 發光二極管工廠總體規劃，應符合所在地區的區域規劃、城鎮規劃的要求。

5.2.2 總平面布置應符合下列規定：

1 主廠房宜根據生產工藝特點和各種功能區的要求，按組合式、大體量的綜合性廠房布置；

2 廠區內生產區、動力輔助區、倉儲區和辦公、生活區等功能區域應合理布置；

3 有微振控制要求的潔凈廠房總平面布置時，應考慮鄰近存在較大振動的振源對精密設備、儀器的振動影響；

4 工廠的動力設施宜集中布置并靠近工廠的負荷中心；

5 廠區人流和物流的出入口宜分開設置;原料物料的運輸路線應短捷、方便，避免人流和物流之間的混雜和交叉。

5.2.3 廠區給水、排水、循環水及動力電纜等管線宜選用地下敷設方式;廠區易燃可燃液體、燃氣、熱力、壓縮空氣及保護氣體、通信信號電纜等管線宜選用地上管架敷設方式;地上、地下管線的布置應符合現行國家標準《工業企業總平面設計規范》GB 50187的有關規定。

5.2.4 廠區道路面層應選用整體性能好、發塵少的材料。

5.2.5 廠區應合理進行綠化，但不宜種植對生產環境和產品質量有影響的植物。

6建筑

6.1 一般規定

6.1.1 發光二極管工廠可由生產廠房、動力廠房、化學品庫、氣站、倉庫及辦公樓等建筑組成。

6.1.2 生產廠房的建筑平面和空間布局，應根據生產工藝、工藝改造和擴大生產規模的要求確定。

6.1.3 生產廠房圍護結構材料的選擇應滿足生產對環境的氣密、保溫、隔熱、防火、防潮、防塵、耐久、易清洗等要求。外圍護結構及節點部位的內表面溫度不應低于室內空氣露點溫度。

6.1.4 技術夾層、技術夾道應滿足各種風管和各種動力管線安裝、維修要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設置技術豎井，其形式、尺寸和構造應滿足風管、管線的安裝、檢修和防火要求。

6.1.5 廠房的平面布局和構造處理，宜避免人流、物流運輸及防火對潔凈生產環境帶來不利的影響。生產輔助部門等與生產密切聯系的部門應盡量靠近生產區。

6.1.6 廠房內宜設置工藝設備、動力設備的搬入及運輸安裝通道;通道寬度應滿足人員操作、物料運輸、設備安裝、檢修的要求。

6.1.7 廠房室內裝修應符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火規范》GB 50222和《電子工業潔凈廠房設計規范》GB 50472的有關規定。

6.2 防火及安全疏散

6.2.1 發光二極管工廠建筑的耐火等級不應低于二級。

6.2.2 金屬有機化合物化學氣相沉積間的火災危險性分類在滿足下列條件時應按丙類，否則應按甲類設防：

1 設備密閉性良好；

2 設有氣體或可燃蒸汽報警裝置和滅火裝置。

6.2.3 其他生產區的火災危險性分類，應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016和《電子工業潔凈廠房設計規范》GB 50472的有關規定。

6.2.4 廠房內防火分區的劃分，應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016和《電子工業潔凈廠房設計規范》GB 50472的有關規定。

6.2.5 廠房安全出口的設置、安全疏散距離應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016和《電子工業潔凈廠房設計規范》GB 50472的有關規定。

6.2.6 危險化學品儲存區域和分配區不得設置在人員密集房間和疏散走廊的上方、下方或貼鄰;特氣間、氣體純化間等有爆炸危險性房間應靠外墻布置，房間泄壓面積應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

6.2.7 易燃易爆化學品儲存間、分配間，應采用不發生火花的防靜電地面;腐蝕性化學品儲存間、分配間應采用防腐蝕地面。

7結構

7.1 一般規定

7.1.1 發光二極管工廠光刻機等精密設備基礎應滿足微振動控制的要求。

7.1.2 產生較大振動的設備基礎宜遠離光刻機等精密設備區域;當無法遠離時，對產生較大振動的設備應采取有效的隔振措施。

7.1.3 生產廠房工藝生產區的結構不宜設置伸縮縫。

7.2 結構設計

7.2.1 發光二極管生產廠房可根據工藝生產要求采用下列結構體系：

1 單層排架結構體系；

2 單層門式剛架鋼結構體系；

3 多層框架結構體系；

4 多層框排架結構體系。

7.2.2 精密設備基礎宜避開廠房柱基礎;無法避開時，應考慮廠房柱基礎沉降引起精密設備基礎的地基變形計算。

7.2.3 光刻機等精密設備基礎在首層的微振動控制應根據其特性，采取防微振措施，并應符合下列規定：

1 首層應做鋼筋混凝土地面，厚度不宜小于250mm；

2 設備基礎厚度不宜小于800mm，并應與首層的鋼筋混凝土地面連為一體；

3 有沖擊荷載的設備應遠離光刻機等精密設備，且宜在有沖擊荷載設備的周邊設置隔振溝；

4 精密設備的基礎安全等級應不低于二級。

7.2.4 樓層和屋頂的普通設備基礎應符合下列規定：

1 不宜采用整片的鋼筋混凝土基礎，宜根據設備支承點位置采用鋼筋混凝土支墩或鋼筋混凝土條形基礎；

2 設備基礎不應跨越伸縮縫；

3 設備基礎宜布置在柱頂、主梁或次梁上。

7.2.5 應考慮樓層上設備的布置范圍和運輸安裝區域的荷載，并對受此荷載影響的梁、柱和基礎根據正常使用極限狀態和承載能力極限狀態的要求進行驗算。

7.2.6 生產廠房樓層、屋頂應按照實際吊掛的管道、吊頂建筑做法等，計算吊掛荷載標準值，但不宜小于0.50kN/m2。

7.2.7 用于吊掛管道的預埋件宜在鋼筋混凝土梁的梁側設置，應根據水管的重量和吊掛點的間距驗算預埋件的承載力。

8動力及氣體工程

8.1 冷熱源

8.1.1 發光二極管工廠人工冷熱源宜采用集中設置的冷(熱)水機組和供熱、換熱設備。機型和設備選擇，應根據工廠所在地區的氣候、能源結構、政策、價格及環保規定，按下列規定綜合比較確定：

1 熱源應優先采用城市、區域供熱和工廠余熱；

2 具有城市工業燃氣供應的地區，可采用燃氣鍋爐、燃氣熱水機組供熱或燃氣吸收式冷(熱)水機組供冷、供熱；

3 工廠也可采用燃煤鍋爐、燃油鍋爐供熱.電動壓縮式冷水機組供冷或燃油吸收式冷(熱)水機組供冷、供熱；

4 在夏熱冬冷地區的辦公樓、生活區可采用空氣源熱泵或地源熱泵冷(熱)水機組供冷、供熱。

8.1.2 同時需要供冷和供熱時，冷水機組宜根據負荷要求選用熱回收機組，并采用自動控制的方式調節機組的供熱量。

8.1.3 冷熱源設備臺數和單臺容量應根據全年冷熱負荷工況合理選擇，并應保證設備在高、低負荷工況下均能安全、高效運行。

8.1.4 過渡季節或冬季需用一定量的供冷負荷時，可利用冷卻塔作為冷源設備。

8.1.5 在滿足工藝及空調用冷凍水溫度的前提下，應加大冷凍水供、回水溫差和提高冷水機組的出水溫度。

8.1.6 當冷負荷變化較大時，經過經濟技術比較，冷源系統的部分或全部設備宜采用變頻調速控制。

8.1.7 電動壓縮式冷水機組的裝機容量應符合現行國家標準《工業建筑供暖通風與空氣調節設計規范》GB 50019的有關規定。

8.1.8 電動壓縮式制冷機組的制冷劑應符合有關環保的要求，當采用過渡制冷劑時，其使用年限應符合相關要求。

8.1.9 燃油燃氣鍋爐應選用帶比例調節燃燒器的全自動鍋爐，且每臺鍋爐宜獨立設置煙囪，煙囪的高度應滿足項目環境評價文件的要求，并應符合現行國家標準《鍋爐大氣污染物排放標準》GB 13271的有關規定。

8.1.10 鍋爐排放的大氣污染物，應符合大氣污染物排放標準的要求，并應符合現行國家標準《鍋爐大氣污染物排放標準》GB 13271和《大氣污染物綜合排放標準》GB 16297的有關規定。

8.2 大宗氣體供應

8.2.1 大宗氣體管道系統設計應符合下列規定：

1 大宗氣體的供氣方式應根據氣體用量、氣體品質和當地的供氣狀況等因素，經技術經濟比較后確定；

2 氫氣、氧氣管道的終端或最高點應設置放散管，放散管應引至室外并高出建筑的屋脊1m，氫氣放散管道上應設置阻火器；

3 潔凈室內的氫氣管道應明敷，穿過潔凈室的墻壁或樓板處的管段應設置套管，套管內的管道不應有焊縫，套管與管道之間應采取密封措施；

4 氫氣管道不得穿過不使用氫氣的房間;當必須穿過時應設套管或使用雙層管。

8.2.2 高純氣體管道設計應符合下列規定：

1 管徑應按氣體容許流量、壓力或生產工藝設備確定，管外徑不宜小于6mm；

2 管道布置不應出現不易吹除的“盲管”等死空間；

3 管道系統應設置吹掃口和取樣口。

8.2.3 設有氫氣等可燃氣體裝置的氣體純化間或氣體入口室的火災危險性應按甲類確定，并應符合下列規定：

1 應靠外墻設置，并應設置防爆泄壓設施；

2 氫氣等可燃氣體引入管道上應設置自動切斷閥；

3 應具有機械通風裝置，并應設置事故排風裝置；

4 應設置氣體泄漏報警裝置，并應與事故排風裝置聯鎖。

8.2.4 大宗氣體管道和閥門應根據生產工藝要求選擇，并應符合下列規定：

1 氣體純度大于或等于99.9999%時，宜采用內壁電拋光的奧氏體超低碳不銹鋼管，閥門應采用隔膜閥、波紋管閥；

2 氣體純度大于或等于99.999%、露點低于—76℃時，宜采用內壁電拋光的奧氏體超低碳不銹鋼管或內壁電拋光的低碳奧氏體不銹鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥；

3 氣體純度大于或等于99.99%、露點低于—60℃時，宜采用內壁拋光的奧氏體不銹鋼管，除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外，其余氣體管道可采用球閥；

4 氣體管道閥門、附件的材質宜與相連接的管道材質一致。

8.2.5 氣體管道連接應符合下列規定：

1 管道連接應采用焊接，不銹鋼管宜采用自動氬弧焊或等離子熔透對接焊；

2 管道與設備或閥門的連接，宜采用表面密封的接頭或雙卡套，接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；

3 管道與設備的連接應符合設備連接的要求，當采用軟管連接時，應采用金屬軟管。

8.3 特種氣體供應

8.3.1 特種氣體應采用外購鋼瓶氣體、液態氣體，在工廠內設置儲存、分配系統。

8.3.2 特種氣體儲存分配系統設備，應根據特種氣體的性質和儲存數量布置在獨立的建構筑物內，或布置在生產廠房內。

8.3.3 特種氣體系統的氣瓶柜、氣瓶架的設置應符合下列規定：

1 不相容氣體瓶嚴禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中；

2 不相容的特種氣體的氣瓶架應布置在不同房間里;當布置在同一房間時，不相容特種氣體的氣瓶柜、氣瓶架之間的距離應大于6m；

3 氣瓶柜閉門時的排風換氣次數不得低于300次/h，且氣瓶柜應保持負壓；

4 自燃、可燃、毒性、腐蝕性氣瓶柜應在排風出口設置氣體泄漏探測器;

5 氣瓶柜門應具備自動關閉功能，并應配備防爆玻璃觀察窗;氣瓶柜應采取抗震措施，設計應滿足當地抗震設防烈度的要求。

8.3.4 可燃、自燃特種氣體的氣瓶柜應符合下列規定：

1 硅烷氣瓶柜閉門時的排風換氣次數不得低于1200次/h，且應連續監控氣瓶柜的負壓；

2 自燃特種氣體的氣瓶柜應設置紫外、紅外火焰探測器及水噴淋系統；

3 可燃特種氣體的氣瓶柜應設置水噴淋系統；

4 自燃、可燃特種氣體的氣瓶柜應在氣瓶之間設置隔離鋼板。

8.3.5 特種氣體系統吹掃氮氣的設置，應符合下列規定：

1 特種氣體系統的吹掃氮氣應與獨立的氮氣源連接，不得與公用氮氣或工藝氮氣系統相連；

2 不相容性特種氣體系統的吹掃氮氣不得共用同一氮氣源；

3 吹掃氮氣管線應設置止回閥。

8.3.6 特種氣體排氣與廢氣處理的設置應符合下列規定：

1 特種氣體系統的排氣管應設置氮氣稀釋與連續吹掃；

2 不相容性特種氣體的排氣不得接入同一排氣主管；

3 自燃、可燃、毒性、腐蝕性特種氣體的排氣應經過尾氣處理裝置進行處理，排放應符合現行國家標準《大氣污染物綜合排放標準》GB 16297的有關規定。

8.3.7 生產廠房內的可燃和毒性特種氣體管道應明敷，穿過生產區墻壁與樓板處的管段應設置套管，套管內的管道不得有焊縫，套管與管道之間應采用密封措施?？扇?、毒性、腐蝕性氣體管道的機械連接處，應置于排風罩內。

8.3.8 特種氣體和吹掃氣體的管道和管件應采用奧氏體超低碳不銹鋼無縫鋼管，內表面應進行潔凈和鈍化處理。

8.3.9 自燃、可燃、氧化性特種氣體管道，應設置靜電泄放的接地設施。

8.3.10 室外布置的特種氣體管道應架空布置。

8.3.11 當特種氣體為硅烷、磷烷、砷烷時，應采用雙層管道設計。

8.3.12 特種氣體采用雙層管輸送時，雙層管的外層管道宜采用SS304奧氏體不銹鋼管道，內層管道應與所輸送特種氣體的性質匹配。

8.4 動力氣體供應

8.4.1 干燥壓縮空氣系統應根據生產工藝對供氣量和供氣品質等因素確定，并應符合下列規定：

1 干燥壓縮空氣系統的供氣規模應按生產工藝所需實際用氣量及系統損耗量確定；

2 供氣設備可集中布置在生產廠房內的供氣站或生產廠房外的綜合動力站內。

8.4.2 風冷式空氣壓縮機及風冷式干燥裝置的設備布置應防止冷卻空氣發生短路現象。

8.4.3 當干燥壓縮空氣輸送露點低于—76℃時，可采用內壁電拋光不銹鋼管;當干燥壓縮空氣輸送露點低于—40℃時，應采用不銹鋼管或鍍鋅碳鋼管。

8.4.4 壓縮空氣系統的管道設計應符合下列規定：

1 壓縮空氣主管道的直徑應按照全系統實際用氣量進行設計，支干管道的直徑應按照局部系統實際用氣量進行設計，支管道的直徑應按照設備最大用氣量進行設計；

2 干燥壓縮空氣輸送露點低于—40℃時，用于管道連接的密封材料宜選用金屬墊片或聚四氟乙烯墊片;

3 當設計軟管連接時，宜選用金屬軟管。

8.4.5 工藝真空系統的設計應符合下列規定：

1 工藝真空設備的抽氣能力應按生產工藝所需實際用氣量及系統損耗量確定；

2 工藝真空設備應布置在生產廠房內的一個或多個供氣站內；

3 工藝真空設備應選用能耗少、噪聲低的設備;

4 工藝真空設備應根據工藝系統的實際情況選用水環式或干式真空泵;

5 工藝真空系統應設計真空壓力過低保護裝置。

8.4.6 工藝真空系統的管道設計應符合下列規定：

1 工藝真空管路設計應布置成支狀系統;

2 工藝真空主管道的直徑應按照全系統實際抽氣量進行設計，支干管道的直徑應按照局部系統實際抽氣量進行設計，支管道的直徑應按照設備最大抽氣量進行設計；

3 工藝真空系統的管道材料宜根據工藝真空系統的真空壓力及真空特性選用不銹鋼管或厚壁聚氯乙烯管道;

4 當設計軟管連接時，宜選用金屬軟管。

8.4.7 清掃真空系統宜選用移動式清掃真空設備。

9供暖、通風、空氣調節與凈化

9.1 一般規定

9.1.1 潔凈室的空氣潔凈度等級以及潔凈室形式應根據生產工藝對生產環境的要求確定。

9.1.2 潔凈室的氣流組織應根據潔凈度等級、生產工藝要求以及技術經濟比較確定。

9.1.3 當出現下列情況之一時，空氣凈化調節系統宜分開設置：

1 生產工藝中散發的物質對其他工序的產品質量及人員安全衛生有影響；

2 溫濕度基數和允許波動范圍差別大的潔凈室；

3 凈化空調系統和一般空調系統；

4 潔凈室內工藝設備發熱、散濕量相差懸殊的潔凈室；

5 系統風量過大的凈化空調系統。

9.1.4 潔凈室內的新風量應取下列兩項中的最大值：

1 補償室內排風量和保持室內正壓值所需新風量之和；

2 保證供給潔凈室內每人每小時的新風量不小于40m3。

9.1.5 潔凈室與周圍的空間應保持靜壓差，靜壓差應符合下列規定：

1 不同等級的潔凈室之間的靜壓差不宜小于5Pa；

2 潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差不應小于5Pa；

3 潔凈室與室外的靜壓差應大于10Pa。

9.2 供暖、通風與廢氣處理

9.2.1 供暖設計應符合現行國家標準《工業建筑供暖通風與空氣調節設計規范》GB 50019的有關規定。

9.2.2 潔凈室內不應采用散熱器供暖。

9.2.3 寒冷和嚴寒地區各動力站房應根據工藝要求設置值班供暖。

9.2.4 潔凈室內產生粉塵和有害氣體的工藝設備和輔助設備，均應設局部排風裝置，排風罩宜為密閉式。

9.2.5 排風系統的設計應符合下列規定：

1 金屬有機化合物化學氣相沉積設備的尾氣應設就地處理裝置；

2 酸、堿排風應獨立設置系統，風機的電機應按一級負荷供電；

3 工藝設備的排風系統應設置備用風機；

4 有冷凝液產生的酸、堿排風系統風管宜設置坡度和排液口，且風管系統應采取防液體滲漏措施；

5 金屬有機化合物化學氣相沉積設備的排風系統應采取防火、防爆措施；

6 酸、堿、硅烷排風系統的風管不應穿越防火墻或通風、空氣調節機房的隔墻和樓板，當必須穿越時，不得設置熔片式防火閥；

7 酸、堿排風系統的風機應設在廢氣處理設備的下風側；

8 工藝設備的排風溫度高于60℃時，排風管應設保溫措施；

9 工藝設備局部排風系統的室外風管應根據當地氣象條件設置防結露保溫措施；

10 潔凈室的排風系統應設置防止室外氣流倒灌的措施。

9.2.6 廢氣處理系統的設計，應符合下列規定：

1 酸、堿廢氣不得采用固定床吸附劑方式處理；

2 酸、堿廢氣宜采用淋洗方式處理，處理設備的填料層數、厚度和噴淋藥液循環量應計算確定;處理設備的加藥、補水和排污應采用自動方式;處理設備宜就近設置日用藥箱；

3 兩臺及兩臺以上廢氣處理設備并聯運行時，應在每臺設備的入口設置電動或氣動密閉風閥；

4 寒冷地區或嚴寒地區使用的淋洗式廢氣處理裝置應采取防凍措施。

9.2.7 酸、堿廢氣經處理后應經排氣筒排入大氣，排氣筒高度應符合環境評估報告的要求，排氣筒出口處風速宜大于或等于18m/s，并應符合現行國家標準《大氣污染物綜合排放標準》GB 16297的有關規定。

9.2.8 金屬有機化合物化學氣相沉積間應設置不低于12次/h的事故排風。

9.2.9 使用氫氣房間的吊頂上部應設置通風換氣措施，排風量宜為1次/h～2次/h，吸風口上緣至頂棚平面或屋頂的距離不應大于0.1m。

9.2.10 換鞋間應設置不低于10次/h的全室排風系統，排風口宜設置在下部;換鞋柜宜設置局部排風措施;一次更衣間宜設置不低于5次/h的全室排風系統

9.3 空氣調節與凈化

9.3.1 凈化空氣調節系統的新風應進行集中處理，新風處理機組的設置應符合下列規定：

1 送風機應采取自動調速措施；

2 空氣宜經過粗效、中效、高效過濾器三級處理；

3 新風處理機組應有良好的氣密性，在工作壓力下的漏風率不得大于1%。

9.3.2 光刻間凈化空氣調節系統的循環風宜采用風機過濾器機組和干冷卻盤管處理，其他潔凈室凈化空氣調節系統的循環風宜采用循環空氣處理機組處理。

9.3.3 金屬有機化合物化學氣相沉積間的凈化空氣調節系統應獨立設置。

9.3.4 循環空氣處理機組宜采用干冷卻方式處理空氣。

9.3.5 循環空氣處理機組的風機應采取自動調速措施。

9.3.6 空調加熱、加濕系統的設計應利于工廠余熱的利用。

9.3.7 潔凈室的送風量，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

9.3.8 凈化空氣調節系統的新風吸入口位置，應遠離排放有害物或可燃物的排氣口。

9.3.9 潔凈室的噪聲控制設計的噪聲級(空態)應符合現行國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》GB 50472的有關規定，但當潔凈室采用風機過濾器機組和干冷卻盤管處理循環空氣時，單向流和混合流潔凈室的噪聲級(空態)不應大于70dB(A)，非單向流潔凈室的噪聲級(空態)不應大于65dB(A)。

9.4 防排煙

9.4.1 生產廠房中防煙樓梯間、前室或合用前室宜設置自然排煙設施，當不能滿足自然排煙要求時，應設置機械排煙系統。機械排煙系統的設置應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

9.4.2 生產廠房中不具備自然排煙的疏散走廊，應設置機械排煙系統。

9.4.3 金屬有機化合物化學氣相沉積設備車間內應設置機械排煙系統，其他車間排煙系統的設置應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016和《電子工業潔凈廠房設計規范》GB 50472的有關規定。

9.4.4 潔凈室(區)的排煙系統應有防止室外氣流倒灌的措施，并應設置旁通管路用于平時巡檢。

9.4.5 潔凈室(區)內的排煙風管當使用產塵的保溫材料進行隔熱時，應為具有雙層金屬板夾保溫材料構造的成品保溫風管，保溫材料應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。內層金屬板的厚度應符合現行國家標準《通風與空調工程施工質量驗收規范》GB 50243的有關規定。

10給水排水

10.1 一般規定

10.1.1 發光二極管工廠的給水排水設計應符合現行國家標準《建筑給水排水設計規范》GB 50015的有關規定，并應符合下列規定：

1 設有技術夾層的發光二極管工廠，其廠房內的給水排水干管應敷設在技術夾層內;

2 潔凈室內不宜穿過與該潔凈室無關的給排水管道，當必須穿過時，應采取可靠的防滲漏、防結露措施。

10.1.2 廢水管道不宜直接敷設在首層結構板下，當必須直接敷設時，應采取可靠的防滲漏措施。

10.2 一般給水排水

10.2.1 應根據生產工藝對水質、水溫、水壓、水量的要求確定給水系統。

10.2.2 下列場所應設置緊急淋浴器或洗眼器：

1 危險化學品儲存、配置區域;

2 可能產生化學品泄漏的區域;

3 毒性、腐蝕性氣體的特種氣體間。

10.2.3 緊急淋浴器或洗眼器的服務半徑不宜大于15m，且服務半徑內不應有障礙物。

10.2.4 給水、排水管道的管材應符合下列規定：

1 給水管道的材質及接口應滿足生產工藝對水質、水壓、水溫等的要求;

2 排水管道的材質及接口應滿足生產廢水水質的要求。

10.2.5 排水收集系統的設置應符合下列規定：

1 生產廢水、生活污水系統應分別設置；

2 不同污染物的生產廢水宜分別設置；

3 廢水與廢液應分別設置；

4 含有砷及其他重金屬污染物的廢水應單獨設置收集系統。

10.2.6 生產廢水收集系統宜設置通氣管，通氣管應高出屋面2m。

10.2.7 雨水系統應符合現行國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》GB 50472的有關規定。

10.2.8 潔凈室(區)內地漏等排水設施的設置，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

10.2.9 廠區化學品存儲、分配、收集、卸貨區域應設置事故排水的儲存設施。

10.2.10 當設有廢水收集槽且采用提升泵輸送廢水時，廢水提升泵宜設置應急備用電源。

10.3 純 水

10.3.1 純水系統的設計應符合現行國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》GB 50472的有關規定，并應符合下列規定：

1 純水系統的水質應根據生產工藝的要求確定；

2 純水系統供水管網的循環回流水量不宜小于設計供水量的20%；

3 純水制備系統及供水管網的回收率應根據項目實際情況確定；

4 純水供給管路系統的布置應確保用水點的水質。

10.3.2 純水制備區域的排水管道應確保制水設備瞬時排水能得到及時排除。

10.4 工藝冷卻循環水

10.4.1 工藝設備冷卻循環水的水質、水溫、水壓應根據生產設備要求確定。

10.4.2 工藝冷卻循環水系統宜采用開式系統。

10.4.3 工藝冷卻循環水系統的管材及配件應根據水質要求確定，不宜采用焊接鋼管。

10.4.4 當工藝冷卻水系統的水溫要求與管道布置的環境溫度不同時，管道系統應采取保溫措施。

10.4.5 工藝冷卻水系統應設置應急備用電源。

10.4.6 工藝冷卻水的補水水質應滿足工藝設備的要求。

10.5 廢水處理

10.5.1 發光二極管工廠的廢水處理應符合現行國家標準《電子工程環境保護設計規范》GB 50814的有關規定，并應符合下列規定：

1 應根據廢水水量、水質及排放標準等確定處理流程；

2 廢水處理設施及末端排放宜設置在線監測儀表；

3 處理系統采用的管材宜與收集系統一致。

10.5.2 含砷及其他重金屬的廢水應單獨設置處理系統。

10.6 消 防

10.6.1 發光二極管工廠應設置消防給水系統。

10.6.2 消防給水系統的設置應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016及《自動噴水滅火系統設計規范》GB 50084的有關規定，并應符合下列規定：

1 潔凈室生產區應設置室內消火栓；

2 潔凈生產區應設置自動噴水滅火系統，噴水強度不應小于8L/min·m2，作用面積不應小于160m2;潔凈室或潔凈區內向下氣流區域內應采用快速反應噴頭；

3 特種氣體站、硅烷站的消防設計應符合現行國家標準《特種氣體系統工程技術規范》GB 50646的有關規定。

10.6.3 設置固定滅火裝置的倉庫，應按現行國家標準《自動噴水滅火系統設計規范》GB 50084的有關規定執行。

10.6.4 潔凈區內宜配置的手提二氧化碳滅火器不應對潔凈環境產生破壞，廠房內其余場所配置的滅火器應符合現行國家標準《建筑滅火器配置設計規范》GB 50140的有關規定。

11電氣

11.1 供配電與照明

11.1.1 發光二極管工廠的用電負荷等級和供電，應根據生產工藝及設備要求確定，并應符合現行國家標準《供配電系統設計規范》GB 50052的有關規定。

11.1.2 主要生產工藝設備宜由專用變壓器或專用低壓饋電線路供電，當對斷電時間或電源質量有特殊要求時，工作電源宜設置不間斷電源(UPS)或其他提高電源質量的設備。

11.1.3 發光二極管工廠低壓配電電壓應符合生產工藝設備用電要求。配電系統接地的型式宜采用TN-S或TN-C-S系統。

11.1.4 發光二極管工廠的消防用電負荷分級及供電要求，應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

11.1.5 潔凈室內應選擇不易積塵、便于擦拭的配電設備。

11.1.6 發光二極管廠房的電氣管線敷設在潔凈室內時宜暗敷。穿線導管應采用不燃材料。潔凈區內的電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設備與墻體接縫處應有可靠的密封措施。

11.1.7 發光二極管廠房內易燃、易爆氣體或液體的入口室、輔助間的電氣設計應根據易燃、易爆氣體或液體的特性確定，并應符合現行國家標準《爆炸危險環境電力裝置設計規范》GB 50058的有關規定。

11.1.8 潔凈室內照明光源，宜采用高效熒光燈。當工藝有特殊要求或照度值達不到設計要求時，也可采用其他形式光源。

11.1.9 潔凈室內一般照明燈具宜為吸頂明裝或嵌入頂棚暗裝。當嵌入頂棚暗裝時，其安裝縫隙應有可靠的密封措施，同時應便于燈管維修和更換。

11.1.10 發光二極管廠房潔凈室(區)的主要生產用房一般照明的照度值應根據工藝生產的要求確定，并應符合現行國家標準《建筑照明設計標準》GB 50034的有關規定。

11.1.11 廠房內應設置供人員疏散用的應急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉角處設置疏散標志應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。在專用消防口處應設置紅色應急照明燈。

11.2 防雷與接地

11.2.1 發光二極管廠房的防雷系統設計應符合現行國家標準《建筑物防雷設計規范》GB 50057和《建筑物電子信息系統防雷技術規范》GB 50343的有關規定。

11.2.2 發光二極管廠房生產設備的功能接地電阻不宜大于1Ω，有特殊接地要求的設備，應滿足設備要求的接地電阻值。

11.2.3 功能性接地、保護性接地、電磁兼容性接地、建筑防雷接地、防靜電接地宜采用共用接地系統，并應遵循等電位聯結的原則，接地電阻值應按其中最小值確定，且不宜大于1Ω。

11.2.4 選擇分散接地方式時，各種功能接地系統的接地體應遠離防雷接地系統的接地體。分開設置的接地系統接地極與共用接地系統接地極應保持20m及以上的間距。

11.3 自 控

11.3.1 發光二極管廠房環境和公用動力設備監控系統宜采用集散或分布式網絡結構，系統應易于擴展和維護，并應具備顯示、記錄、控制、報警、分析和提示功能。

11.3.2 潔凈區與非潔凈區之間應設置壓差變送器，潔凈區與非潔凈區之間的壓差宜為5Pa。當潔凈區凈化空調選用變頻風機時，設備監控系統應根據潔凈區與非潔凈區之間的壓差設定值調節風機轉速。

11.3.3 空調系統的電加熱器應設有無風、超溫斷電保護;當采用電加濕器時，應設有無水保護。

11.4 通 信

11.4.1 潔凈室(區)內應設置內外聯系的語音通信設施。

11.4.2 潔凈室(區)內應根據管理及工藝的需要設置數據通信插座。

11.4.3 語音和數據通信線路宜采用綜合布線系統，其配線及管理設備不宜設在潔凈室(區)內。

11.5 安全防護

11.5.1 發光二極管工廠應設火災自動報警及消防聯動控制系統，系統的設置應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定，并應符合下列規定：

1 潔凈廠房的潔凈室(區)及輔助建筑均應設智能型火災探測器;

2 當潔凈室(區)點式探測器設置條件不能滿足現行規范設計要求時，宜選擇吸氣式空氣采樣早期煙霧探測系統；

3 潔凈室(區)出入口內外均應設置手動火災報警按鈕；

4 潔凈室(區)內主入口應設消防專用電話分機；

5 潔凈室(區)的消防聯動控制應符合現行國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》GB 50472的有關規定；

6 潔凈室(區)的空調及排煙系統聯動控制應在火災核實并確認后，控制室或現場手動控制。

11.5.2 發光二極管工廠特種氣體應設泄漏監控及安全系統，系統的設置及聯動控制應符合現行國家標準《特種氣體系統工程技術規范》GB 50646的有關規定。

11.5.3 發光二極管工廠化學品的儲存場所應設置視頻監控與門禁設施。

11.5.4 發光二極管工廠應設置應急廣播，潔凈室(區)內揚聲器的選擇不應對潔凈區域的潔凈度造成影響。

12防靜電

12.1 一般規定

12.1.1 發光二極管生產廠房應根據生產工藝要求設置防靜電工作區。防靜電工作區設計應滿足環境控制靜電放電、防止靜電危害事故的要求。

12.1.2 防靜電工作區設計應按照發光二極管生產工序的要求進行分級。防靜電工作區靜電電位絕對值應小于產品的靜電電位安全值。

12.1.3 發光二極管防靜電工作區設計分級標準適用工序可按表12.1.3確定。

表12.1.3 發光二極管生產廠房防靜電工作區設計分級標準適用工序

防靜電級別靜電電位絕對值(V)適用工序

二級≤200裂片、繃片、分類篩選

三級≤1000

注：1 發光二極管制造設備可按防靜電工作區設計分級三級標準設計；

2 成品庫成品貨架可按防靜電工作區設計分級三級標準設計。

12.1.4 發光二極管生產廠房防靜電工作區的設計應符合現行國家標準《電子工程防靜電設計規范》GB 50611的有關規定。

12.2 防靜電措施

12.2.1 發光二極管生產廠房防靜電工作區中，防靜電地面應符合下列規定：

1 防靜電地面的表層應采用導靜電材料或靜電耗散性材料，其表面電阻應為2.5×104Ω～1.0×109Ω；

2 防靜電地面應設置靜電泄放導電層和接地連接，其對地電阻應為2.5×104Ω～1.0×109Ω；

3 防靜電地面應具有可靠的靜電泄放接地系統;地面導電層接地引出點不應少于2處，且相鄰間距不應大于25m。

12.2.2 當防靜電工作區含有吊頂和墻、柱面時，其裝飾應符合下列規定：

1 吊頂和墻、柱面裝飾的罩面板應選用導靜電材料或靜電耗散性材料制作，罩面板的表面電阻應為2.5×104Ω～1.0×109Ω；

2 二級防靜電工作區的墻、柱面不設置導電層時，應涂刷防靜電涂層，或裝飾靜電耗散層，其表面電阻不應大于1.0×109Ω；

3 頂棚和墻、柱面裝飾有導電層要求時，應制定合理的導電層方案，采用十字型構造銅箔或設置多點間接接地的接點。當頂棚和墻、柱面裝飾設置基層骨架時，骨架應選用金屬材料制作，金屬骨架應接地。接地連接點的設置每個房間不應少于4處，相鄰連接點之間距離不應大于18m。

12.2.3 當防靜電工作區含有門窗時，設計應符合下列規定：

1 二級防靜電工作區應選用靜電耗散性材料制作門或采用靜電耗散性材料貼面;三級防靜電工作區可采用低起電材料制作，其摩擦起電電壓絕對值不應大于1000V；

2 室內隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時，其表面應粘貼靜電耗散性透明薄膜，或噴涂靜電耗散性涂層。

12.2.4 防靜電工作區的其他裝修設計應符合下列規定：

1 各類裝修材料應具有表面靜電耗散性能，不得使用未經表面改性處理的高分子絕緣材料；

2 各類裝修的飾面應平整光滑。

12.2.5 防靜電工作區的空氣調節系統送風口和風管應選用導電材料制作，并應防靜電接地。

12.2.6 防靜電工作區的空氣調節系統、各種配管當使用部分絕緣性材質時，應在配管表面安裝緊密結合的金屬網，并應將金屬網接地。使用導電性非金屬軟管時，應在軟管上安裝與其緊密結合的接觸面積不小于20cm2的金屬導體，并應用接地引線與金屬導體可靠連接后接地。

12.2.7 防靜電工作區的送風口和各種管道的輸出入口裝置，與配管系統之間應有可靠的電氣連接，并應可靠接地。送風口和各種管道的輸出入口裝置表面應涂刷防靜電涂層，或按工藝要求進行防靜電處理。

12.2.8 防靜電工作區應根據生產工藝的需要設置靜電消除器、防靜電安全工作臺。

12.3 防靜電接地

12.3.1 防靜電工作區頂棚、墻面、地面的防靜電接地，人體防靜電接地，操作裝置和儀器的防靜電接地，應分別選擇適當位置設置接地連接裝置。接地連接裝置可使用易于裝拆的各種夾式連接器，但應保證電氣連接可靠。

12.3.2 防靜電工作區內應設置防靜電接地端子板、接地網格，或截面積不小于100mm2的閉合接地銅排環。防靜電接地引線應從防靜電接地端子板、接地網格或閉合銅排環上就近接地，接地引線應使用多股銅線，導線截面積不應小于1.5mm2。

12.3.3 防靜電接地系統在接入大地前應經總等電位接地端子板或樓層接地端子板引至接地網。

12.3.4 防靜電接地宜選擇聯合接地方式。當選擇單獨接地方式時，接地電阻值不應大于10Ω，并與防雷接地裝置保持不小于20m的間距。

12.3.5 爆炸危險和火災危險環境的各種流動液體、氣體或粉體管道安裝的防靜電措施應符合現行國家標準《工業金屬管道設計規范》GB 50316的有關規定。

13空間管理

13.1 一般規定

13.1.1 空間管理設計應滿足工藝設備和公用設備的外型尺寸、平面布置、運行、維修及其管線安裝要求。

13.1.2 潔凈生產層凈高應按照生產設備和物料運輸設備尺寸、微環境裝置及潔凈氣流控制等因素確定，不宜低于3m。

13.1.3 上技術夾層凈高應按照空調設備、管線布置、潔凈氣流控制等因素確定，不宜低于2m。

13.2 管線布置

13.2.1 管線布置應符合下列規定：

1 管線布置應滿足生產工藝、安全間距和維修要求；

2 管線布置不應影響工藝設備搬入和物料運輸；

3 管線之間及管線與建筑物墻壁、溝壁或立柱間凈距應滿足管線安裝操作要求；

4 各種管線宜成排布置，單排管線宜按照管線材質及壓力和重力管線分組；

5 壓力管線與重力管線交叉時壓力管線應避讓重力管線；

6 臨時性管線應避讓永久性管線。

13.2.2 管線布置自上至下宜按照消防管線、電氣管線、水氣管線、風管的順序布置。

13.2.3 管線布置應滿足各專業系統布置的要求。

13.2.4 氧氣、氫氣管線與其他管線間距應符合現行國家標準《氧氣站設計規范》GB 50030、《氫氣站設計規范》GB 50177和《大宗氣體純化及輸送系統工程技術規范》GB 50724的有關規定。

13.2.5 特種氣體管線、化學品供應管線宜成排布置，且宜布置在槽架內，槽架與其他管線凈距不宜小于200mm。

13.2.6 落地安裝的管線應滿足閥門、法蘭、過濾器等管道附件的安裝要求，管底或保溫層底距地面不應小于150mm。

13.2.7 技術夾層內的管線布置應符合下列規定：

1 技術夾層管線布置應按照工藝設備布置統籌規劃；

2 技術夾層管線布置宜預留檢修通路；

3 上技術夾層管線布置應滿足風機過濾器機組、高效過濾器、超高效過濾器等設備的安裝及檢修要求。

13.2.8 管線宜布置在上技術夾層和技術夾道，當布置在潔凈室內時應滿足工藝設備的運行及檢修要求。

13.2.9 特種氣體管線、危險氣體管線、化學品供應管線等宜布置在潔凈生產層。

附錄A 發光二極管典型生產環境要求

表A 發光二極管典型生產環境要求

附錄B 發光二極管生產工藝動力品質要求

B.0.1 發光二極管生產工藝動力品質(氣體)要求可按表B.0.1執行。

表B.0.1 工藝動力品質(氣體)要求

注：表中所列數值為參考值，根據選擇的設備不同，會有差別。

B.0.2 發光二極管生產工藝動力品質(水)要求可按表B.0.2執行。

表B.0.2 工藝動力品質(水)要求

附錄C 發光二極管生產的典型工藝流程

C.1 整體流程

C.1.1 發光二極管生產宜包括外延片生長、管芯(芯片)制造、管芯(芯片)封裝三部分。

C.1.2 發光二極管生產可采用圖C.1.2所示基本工藝流程。

C.1.2 發光二極管生產基本工藝流程