中華人民共和國國家標準

電子工業潔凈廠房設計規范

Code for design of electronic industry clean room

GB 50472-2008

主編部門：中華人民共和國工業和信息化部

批準部門：中華人民共和國住房和城鄉建設部
施行日期：2 0 0 9 年 7 月 1 日

中華人民共和國住房和城鄉建設部公告
第200號
關于發布國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》的公告

現批準《電子工業潔凈廠房設計規范》為國家標準，編號為GB 50472-2008，自2009年7月1日起實施。其中，第3．2．5、4．3．3(1)、5．4．2、 5．5．6、 6．2．1、 6．2．6、 6．2．7、 6．2．8、 6．2．9、6．3．1、 7．1．6、 7．5．1、 7．5．3(1、2、4、5、6、7、8)、 7．5．4、 7． 5． 6、7．6．1、 7．7．2、 7．7．7(2、3)、 8．3．1、 8．3．2、 8．5．1、 8．5．2(1)、8．5．3(3)、 9．2． 3(3、4、5)、 10． 1 5、 10． 1． 6、 10． 1． 7(2、3)、10．1．8(1、3、4)、 10．2． 5、 10． 2． 6、 10． 4． 2、 10． 4． 3(1、2、3)、10．4．5、 11．2．1(1、2、3、5、6、7、8)、 11．2．2、 11． 2． 3、 11． 2． 5、11．3．1、 12．1．8、 12．2．3(1)、 12．2．4、 12．3．2、 12．3．4(1、3)、12．3．6、12．3．7、12．3．8、12．4．4、13．2．1(2、3)、13．3．4條(款)為強制性條文，必須嚴格執行。
本規范由我部標準定額研究所組織中國計劃出版社出版發行。

二〇〇八年十二月十五日

前言

      本規范是根據建設部“關于印發《2005年工程建設標準規范制訂、修訂計劃(第二批)》的通知”(建標函〔2005〕124號)的要求，由中國電子工程設計院會同有關單位編制完成的。
      本規范在編制過程中，編制組結合我國電子工業潔凈廠房設計建造和運行的實際情況，進行了廣泛的調查研究，收集整理相關的專題報告、測試資料，認真總結多年來電子工業潔凈廠房設計建造和運行方面的經驗，廣泛征求了國內有關單位的意見，最后經審查定稿。
      本規范共分15章和4個附錄。主要內容有：總則、術語、電子產品生產環境設計要求、總體設計、工藝設計、潔凈建筑設計、空氣凈化和空調通風設計、給水排水設計、純水供應、氣體供應、化學品供應、電氣設計、防靜電與接地設計、噪聲控制、微振控制等。
      本規范中以黑體字標志的條文為強制性條文，必須嚴格執行。
      本規范由住房和城鄉建設部負責管理和對強制性條文的解釋，由中國電子工程設計院負責具體內容的解釋。本規范在執行過程中，希望各有關單位結合工程實踐，認真總結經驗，若發現需要修改和補充之處，請將意見和有關資料寄至中國電子工程設計院《電子工業潔凈廠房設計規范》管理組(地址：北京市海淀區萬壽路27號，郵政編碼：100840，傳真：010—68217842，E-mail．xiao—hongmei@ceedi．com．cn)，以供今后修改時參考。
      本規范主編單位、參編單位和主要起草人：
      主編單位：中國電子工程設計院
      參編單位：信息產業電子第十一設計研究院有限公司 上海電子工程設計研究院有限公司 深圳市電子院設計有限公司 中國電子系統工程第二建設有限公司 北京中瑞電子系統工程設計院
      主要起草人：陳霖新 秦學禮 晁陽 張利群 王唯國 侯憶 穆京祥 趙海 高艷敏 王毅勃 肖紅梅 李杰 李錦生 路振福 章光護 鄒英杰 鐘景華 牛光宏 張曉敏 周志剛 陳騮 焦明偉

       以下規范內容由合景凈化工程公司www.mzbbs.cn進行整理編輯

1 總 則

1．0．1 為在電子工業潔凈廠房設計中，做到技術先進、經濟適用、安全可靠、節約資源、降低能耗、確保質量，并符合勞動衛生和環境保護的要求，制定本規范。

1．0．2 本規范適用于新建、擴建和改建的電子工業潔凈廠房設計。

1．0．3 電子工業潔凈廠房的設計應滿足需潔凈環境的電子產品生產工藝要求，并應根據具體情況為今后產品生產發展或生產工藝改進的需要預留條件。

1．0．4 電子工業潔凈廠房的設計應為施工安裝、調試檢測和安全運行、維護管理創造必要的條件。

1．0．5 電子工業潔凈廠房設計除應執行本規范外，尚應符合國家現行有關標準的規定。

2 術 語

2．0．1 潔凈室 clean room

      空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒子。室內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。

2．0．2 潔凈區 clean zone
      空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內誘入、產生及滯留粒子。空間內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。可以是開放式或封閉式。

2．0．3 人員凈化用室 room for cleaning human body
      人員在進入潔凈室(區)之前按一定程序進行凈化的房間。

2．0．4 物料凈化用室 room for cleaning material
      物料在進入潔凈室(區)之前按一定程序進行凈化的房間。

2．0．5 粒徑 partical size
      由給定的粒子尺寸測定儀響應當量于被測粒子等效的球體直徑。對離散粒子計數、光散射儀器采用當量光學直徑。

2．0．6 懸浮粒子 airborne particles
      用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0．1～5μm的固體和液體粒子。

2．0．7 含塵濃度 particle concentration
      單位體積空氣中懸浮粒子的顆數。

2．0．8 潔凈度 cleanliness
      以單位體積空氣某粒徑粒子的數量來區分的潔凈程度。

2．0．9 空態 as-built
      設施已經建成，所有動力接通并運行，但無生產設備、材料及人員。

2．0．10 靜態 at-rest
      設施已經建成，生產設備已經安裝，并按業主及供應商同意的狀態運行，但無生產人員。

2．0．11 動態 operational
      設施以規定的狀態運行，有規定的人員在場，并在商定的狀況下進行工作。

2．0．12 氣流流型 air pattern
      室內空氣的流動形態和分布。

2．0．13 單向流 unidirectional airflow
      沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風速一致的氣流。包括垂直單向流和水平單向流。

2．0．14 非單向流 non-unidirectional airflow
      凡不符合單向流定義的氣流。

2．0．15 混合流 mixed airflow
      單向流和非單向流組合的氣流。

2．0．16 潔凈工作區 clean working area
      指潔凈室內離地面高度0．8～1. 5m(除工藝特殊要求外)的區域。

2．0．17 空氣吹淋室 airshower
      利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。

2．0．18 氣閘室 airlock
      設置在潔凈室出入口，阻隔室外或相鄰房間的污染氣流和壓差控制而設置的緩沖間。

2．0．19 傳遞窗 passbox
      在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的開口。兩側窗扇的開啟應進行聯鎖控制。

2．0．20 潔凈工作服 clean working garment
      為把工作人員產生的粒子限制在最低程度所使用的發塵量少的潔凈服裝。

2．0．21 高效空氣過濾器 (HEPA)high efficiency particulate air filter
      在額定風量下，最易穿透粒徑法的效率在99．95％以上及氣流初阻力在220Pa以下的空氣過濾器。

2．0．22 超高效空氣過濾器 (ULPA)ultra low penetration air filter
      在額定風量下，最易穿透粒徑法的效率在99．9995％以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過濾器。

2．0．23 微環境 minienvironment
      將產品生產過程與操作人員、污染物進行嚴格分隔的隔離空間。

2．0．24 風機過濾器機組 fan filter unit(FFU)
      由HEPA或ULPA與風機組合在一起，構成自身可提供動力的末端空氣凈化的裝置。

2．0．25 自凈時間 cleanliness recovery characteristic
      潔凈室被污染后，凈化空調系統開始運行至恢復到穩定的規定室內潔凈度等級的時間。

2．0．26 技術夾層 technical mezzanine
      潔凈廠房中以水平構件分隔構成的空間，用于安裝輔助設備和公用動力設施以及管線等。

2．0．27 技術夾道 technical tunnel
      潔凈廠房中以垂直構件分隔構成的廊道，用于安裝輔助設備和公用動力設施以及管線等。

2．0．28 技術豎井 technical shaft
      潔凈廠房中主要以垂直構件分隔構成的井式管廊，用于安裝輔助設備和公用動力設施以及管線等。

2．0．29 專用消防口 fire-firing access
      消防人員為滅火而進入建筑物的專用入口，平時封閉，使用時由消防人員從室外打開。

2．0．30 純水 pure water
      雜質含量很少的水，其電解質雜質含量(常以電阻率表征)和非電解質雜質(如微粒、有機物、細菌和溶解氣體等)含量均要求很少的水。

2．0．31 常用氣體 bulk gas
      電子產品生產過程中，廣泛使用的氫氣、氧氣、氮氣、氬氣、氦氣等氣體。

2．0．32 特種氣體 special gas
      電子產品生產過程中，使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯氣等氣體。這些氣體具有可燃、有毒、腐蝕或窒息等特性。

2．0．33 化學品 chemical
      指電子產品生產過程中使用的酸、堿、有機溶劑和氧化物等。

2．0．34 防靜電環境 ESD controlled environment
      具有防止靜電危害的特定環境，在此環境中不易產生靜電或靜電產生后易于泄放或消除，靜電噪聲難以傳播。

2．0．35 表面電阻 surface resistance
      在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩態電流之商。

3 電子產品生產環境設計要求

3．1 一般規定

3．1．1 電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。

3．1．2 生產環境設計應根據產品品種及生產工藝要求，對電子產品生產過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。

3．1．3 潔凈室(區)內產品生產過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質和清潔方式應按生產工藝要求選擇。

3．1．4 潔凈室(區)的空氣潔凈度等性能測試和認證應符合本規范附錄D的要求。

3．2 生產環境設計要求

3．2．1 潔凈室(區)的空氣潔凈度等級應按現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定執行。
潔凈室(區)設計時，空氣潔凈度等級所處狀態(空態、靜態、動態)應與業主協商確定。

3．2．2 各種電子產品生產環境的空氣潔凈度等級應根據生產工藝要求確定；無要求時，可按本規范附錄A確定。

3．2．3 潔凈室(區)的溫度和相對濕度應按表3．2 3確定。

3．2．4 各類電子產品生產所需純水水質、氣體及化學品的純度和雜質含量等應根據生產工藝要求確定。

3．2．5 單向流和混合流潔凈室(區)的噪聲級(空態)不應大于65dB(A)，非單向流潔凈室(區)的噪聲級(空態)不應大于60dB(A)。

3．2．6 潔凈室(區)的微振動控制設計應滿足精密設備、儀器的振動容許值要求。無要求時，可按本規范附錄C或根據其工作特性確定。

4 總體設計

4．1 位置選擇和總平面布置

4．1．1 潔凈廠房位置的選擇，應根據下列要求經技術經濟比較后確定：
      1 應布置在大氣含塵和有害氣體或化學污染物濃度較低、自然環境較好的區域；
      2 應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發大量粉塵和有害氣體或化學污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾或強電磁場的區域。不能遠離嚴重空氣污染源時，則應位于全年最小頻率風向下風側；
      3 在廠區內應布置在環境清潔、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。

4．1．2 潔凈廠房凈化空調系統的新風口與城市交通干道之間的距離(相鄰側邊沿)宜大于50m。當潔凈廠房與交通干道之間設有城市綠化帶時，可根據具體條件適當減少，但不得小于25m。

4．1．3 對于有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應實際測定周圍現有振源和模擬振源的影響，并應與容許振動值比較分析后確定。

4．1．4 廠區總平面布置時，應按潔凈生產、非潔凈生產、輔助生產、公用動力系統和辦公、生活等功能區合理布局。
潔凈廠房宜根據電子產品生產工藝特點和各種功能區的要求，按組合式、大體量的綜合性廠房布置。

4．1．5 潔凈廠房周圍及其周邊的道路面層，應選用整體性能好、發塵少的材料。

4．1．6 潔凈廠房周圍應進行綠化，但不宜種植對生產環境和產品質量有影響的植物。

4．1．7 潔凈廠房宜設置環行消防車道，若有困難時可沿廠房的兩長邊側設消防車道。消防車道的設置應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

4．2 潔凈室型式

4．2．1 潔凈室可根據電子產品生產工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。

4．2．2 電子工業潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應包括活動地板以下的下技術夾層、潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。

4．2．3 潔凈室型式的選擇應綜合生產工藝要求、節約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時，宜采用微環境等型式。

4．3 潔凈室布置和綜合協調

4．3．1 潔凈廠房的平面布置應合理安排潔凈生產區、輔助區和動力區，并應符合下列要求：
      1 潔凈室(區)人員凈化、物料凈化和各種輔助用房，應合理分區布置；
      2 生產工藝或生產設備有特殊要求時，宜分隔為單獨的房間；
      3 生產過程中排放腐蝕性氣體的生產設備或生產工序應分類、集中布置或與其他生產房間分隔；
      4 發熱量、發塵量大的生產工序或生產設備，宜與空氣潔凈度要求嚴格的房間分隔布置；
      5 潔凈室(區)的輔助設備、維修間等技術支持區，宜集中布置在潔凈室(區)的相鄰房間，技術支持區的空氣潔凈度等級應低于潔凈室(區)的等級；
      6 若需在潔凈室(區)內設置潔凈電梯時，應采取氣閘間、潔凈送風措施；
      7 應符合有關防爆、防火、消防等要求。

4．3．2 潔凈室(區)的空間布置應滿足下列要求：
      1 生產設備、物料運輸系統應根據產品生產工藝要求布置，并應做到有效、靈活和操作方便；
      2 各類管線的空間布置應滿足生產工藝、安全間距和維修要求；
      3 終端高效空氣過濾器、照明燈具和各種公用動力設施的布置，應滿足生產工藝、潔凈度等級、安全生產和維修要求；
      4 潔凈生產層的高度應按生產設備、微環境裝置和物料運輸設備的外形尺寸確定。技術夾層高度應根據具體工程要求確定。

4．3．3 潔凈室(區)內應少分隔，但下列情況應予分隔：
      1 按火災危險性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產區段或房間之間，或有防火分隔要求時，應設隔墻；
      2 在電子產品生產過程中，經常不同時使用的兩個生產區段或房間之間；
      3 生產過程中排放影響產品質量的有害氣體或化學污染物的工序、設備，宜分隔設獨立房間。

4．3．4 潔凈廠房的布置應綜合協調生產操作、設備安裝和維修、公用動力管線、氣流流型以及凈化空調系統等各類技術設施的需要。

5 工藝設計

5．1 一般規定

5．1．1 潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應為電子產品發展以及產品生產工藝改造和擴大生產預留必要的條件。

5．1．2 潔凈廠房工藝設計應確定各種生產條件，在滿足電子產品生產要求的前提下，應做到安全性能好、建設投資少、能量消耗少、運行費用低、生產效率高。

5．1．3 潔凈廠房工藝設計應根據產品生產工藝和空氣潔凈度等級要求設置人流路線、物料運輸和倉儲設施。

5．2 工藝布局

5．2．1 潔凈廠房的工藝布置應按產品生產工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設備的安裝和維修、物料運輸等要求確定。
在單向流潔凈室內進行生產工藝設備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時，應采取避免發生氣流干擾和交叉污染的措施。

5．2．2 工藝布局應避免人流和物流之間的混雜和交叉，宜分別設置人員入口、物料入口和設備出入口，并應在各自的入口處設置相應的凈化設施。

5．2．3 在滿足生產工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度嚴格的潔凈室(區)宜靠近空調機房布置；空氣潔凈度等級相同的工序或工作室宜集中布置。

5．2．4 潔凈室(區)內要求空氣潔凈度嚴格的工序(設備)應遠離出入口和可能干擾氣流的場所設置，并宜布置在上風側；易產生污染的工藝設備應布置在靠近回風口位置或下風側。

5．2．5 工藝布置時，應根據大型生產工藝設備的運輸、安裝、維修的要求設置運輸通道、安裝口或檢修口。

5．2．6 潔凈廠房內不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)之間聯系頻繁時，應采取防止污染的措施。

5．3 人員凈化

5．3．1 人員凈化用室和設施應根據潔凈室的規模、空氣潔凈度等級設置，并應設置生活用室。人員凈化用室宜按圖5．3．1的人員凈化程序進行布置。

5．3．2 人員凈化用室，應根據換鞋(凈鞋)、更外衣、更潔凈工作服等的需要設置。雨具存放、廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用房和空氣吹淋室、氣閘室、潔凈工作服洗滌間及干燥間等其他用室，可根據需要設置。

5．3．3 潔凈廠房內人員凈化用室和生活用室的建筑面積，應根據潔凈室的規模、空氣潔凈度等級和潔凈室內工作人員數量等確定，宜按潔凈室(區)內設計人數平均2～4㎡／人計算。

5．3．4 人員凈化用室和生活用房的設置，應符合下列規定：
      1 凈鞋設施應設在潔凈室入口處；
      2 更換外衣和更換潔凈工作服用室不應設置在同一房間內；
      3 外衣存放柜應按潔凈室(區)內設計人數配置；
      4 應設置存放潔凈工作服，且帶有空氣凈化的存衣設施；
      5 應設置感應式洗手和烘干設施；
      6 廁所宜設在進入人員凈化用室之前，需設在人員凈化用室內時，應設置前室。

5．3．5 潔凈廠房空氣吹淋室的設計，應符合下列要求：
      1 在潔凈室(區)的入口處宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時，應設氣閘室；
      2 吹淋室應設在更換潔凈工作服后的相鄰部位；
      3 單人空氣吹淋室，應按最大班人數每30人設一臺。潔凈室(區)工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側應設單向旁通門；
      4 空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟，應采取連鎖控制措施；
      5 空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室(區)，宜設氣閘室。

5．3．6 人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級，宜由外至內逐步潔凈，室內可送入經過高效空氣過濾的潔凈空氣。
潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室(區)的空氣潔凈度等級；當設有潔凈工作服洗滌室時，洗滌室的空氣潔凈度等級宜為8級。

5．4 物料凈化

5．4．1 潔凈室(區)內的設備和物料出入口，應獨立設置，并應根據設備和物料的特征、性質、形狀等設置凈化用室及相應物凈設施。

5．4．2 物料凈化用室與潔凈室(區)之間應設置氣閘室或傳遞窗。

5．5 設備及工器具

5．5．1 潔凈室(區)內應采用具有防塵、防污染的生產設備和輔助生產設備，并應符合下列要求：
      1 表面應光潔、易清潔、不積塵、不揮發化學物質；
      2 設備的傳動部件等應密封性能好，并應防止潤滑油、冷卻劑等的泄漏；
      3 對生產中發塵、排熱量大或排出有毒、可燃氣體的設備，應采取防擴散措施；
      4 設備的金屬外殼應設置接地設施。

5．5．2 當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)時，宜采取密封隔斷措施。

5．5．3 潔凈室(區)內的設備宜選用低噪聲產品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時，應采取隔聲措施。

5．5．4 潔凈室(區)應設置對電子產品生產過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。

5．5．5 潔凈室(區)內，電子產品生產過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用專用容器。用于存放和傳送的專用容器，應符合下列規定：
      1 制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發污染物、防靜電，并在空氣中不應被氧化；
      2 應密封性能好；
      3 當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；
      4 構造、外形應滿足生產工藝要求，并應方便操作和運送。

5．5．6 潔凈室(區)內設置真空泵時，應符合下列規定：
      1 使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置，除油后尾氣應排入排氣系統；
      2 對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過爆炸下限的20％時，應設尾氣處理裝置，在排入排氣系統前應去除或稀釋可燃氣體組分；
      3 傳輸易燃、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不燃泵油，并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產工藝設備操作系統聯鎖。

6 潔凈建筑設計

6．1 一般規定

6．1．1 潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據電子產品發展以及生產工藝改造和擴大生產規模的要求確定。

6．1．2 潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網，不應采用內墻承重體系。

6．1．3 潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區)的布置要求。潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產塵、易清潔等要求。

6．1．4 潔凈廠房主體結構的耐久性應與電子產品生產線設備、生產環境控制設施協調，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區。

6．1．5 設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。

6．1．6 設有技術夾層、技術夾道的潔凈廠房，技術夾層、技術夾道的建筑設計應滿足各種風管和各種動力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設置技術豎井。技術豎井的形式、尺寸和構造應滿足風管、管線的安裝、檢修和防火要求。

6．1．7 對兼有一般生產區和潔凈室(區)的綜合性廠房，廠房的平面布局和構造處理，宜避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產環境帶來不利影響。

6．1．8 潔凈廠房內的通道寬度應滿足人員操作、物料運輸、設備安裝和檢修的要求。

6．2 防火和疏散

6．2．1 潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。
6．2．2 潔凈廠房內生產工作間的火災危險性，應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。火災危險性分類舉例見本規范附錄B。

6．2．3 潔凈廠房內防火分區的劃分，應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。
丙類生產的電子工業潔凈廠房的潔凈室(區)，在關鍵生產設備設有火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01％obs／m的高靈敏度早期火災報警探測系統后，其每個防火分區的最大允許建筑面積可按生產工藝要求確定。

6．2．4 潔凈室的上技術夾層、下技術夾層和潔凈生產層，當按其構造特點和用途作為同一防火分區時，上下技術夾層的面積可不計入防火分區的建筑面積，但應分別采取相應的消防措施。

6．2．5 潔凈室的頂棚和墻板、技術豎井井壁的材質選擇，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

6．2．6 在綜合性廠房的一個防火分區內，潔凈生產區域與一般生產區域之間應設置不燃燒體隔斷設施。不燃燒體隔斷設施應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。
6．2．7 潔凈廠房的安全出口的設置，應符合下列規定：
      1 每一生產層、每個防火分區或每一潔凈室的安全出口數目，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定；
      2 安全出口應分散布置，并應設有明顯的疏散標志；安全疏散距離應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。安全疏散用門應向疏散方向開啟，并應設觀察玻璃窗；
      3 丙類生產的電子工業潔凈廠房，在關鍵生產設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0．01％obs／m的高靈敏度早期火災報警探測系統后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于本條第2款規定的安全疏散距離的1．5倍。
      注 對于玻璃基板尺寸大于1500m×1850mm的TFT-LCD廠房，且潔凈生產區人員密度小于0．02人／㎡，其疏散距離應按工藝需要確定，但不得大于120m。

6．2．8 潔凈廠房的潔凈區各層外墻應設置專用消防口，并應符合下列規定：
      1 潔凈區各層專用消防口的設計，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定；
      2 潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及裝有柵欄的窗，均不應作為專用消防口。
6．2．9 潔凈廠房內有爆炸危險的房間應靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口(樓梯間)貼鄰。有爆炸危險的房間的防爆措施、泄爆面積等應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

6．3 室內裝修

6．3．1 潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產品品質有影響物質的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火規范》GB50222的有關規定。裝修材料的煙密度等級不應大于50，材料的煙密度等級應符合現行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB／T8627的有關規定。
6．3．2 潔凈室內墻壁和頂棚的裝修應符合下列要求；
      1 應滿足使用功能的要求，且表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔，并應減少凹凸面；
      2 當采用踢腳時，踢腳不宜突出墻面。

6．3．3 潔凈室樓地面設計應符合下列要求
      1 應滿足電子產品生產工藝和設備安裝要求；
      2 應平整、耐磨、易清潔、不易積聚靜電、避免眩光、不開裂、耐撞擊等；
      3 地面宜配筋，并應做防潮構造。

6．3．4 潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂柵應滿足使用功能要求，且表面應平整、光滑。位于地下的技術層或技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。

6．3．5 當潔凈廠房設置外窗時，應采用雙層固定窗，并應有良好的氣密性，同時應采取防結露措施。

6．3．6 潔凈室(區)門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設計應符合下列要求：
      1 應滿足使用功能的要求，構造和施工縫隙應采取密閉措施；
      2 頂棚以上的技術層或技術夾層宜設檢修通道；
      3 潔凈室(區)不宜設窗臺；
4 當地面采用活動地板時，活動地板材質和支撐方式應根據電子產品生產工藝要求選擇。

6．3．7 用于電子產品生產的潔凈室(區)的墻板和頂棚，宜采用輕質壁板構造。

7 空氣凈化和空調通風設計

7．1 一般規定

7．1．1 潔凈廠房內各潔凈室(區)的空氣潔凈度等級，應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。

7．1．2 氣流流型應根據各潔凈室(區)空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。

7．1．3 有下列情況之一者，凈化空調系統宜分開設置：

      1 運行班次或使用時間不同；

      2 生產過程中散發的物質對其他工序、設備交叉污染，對產品質量或操作人員健康、安全有影響；

      3 對溫、濕度控制要求差別大；

      4 潔凈室(區)內工藝設備發熱相差懸殊；

      5 凈化空調系統與一般空調系統；

      6 系統風量過大的凈化空調系統。

7．1．4 潔凈室(區)內的溫度、相對濕度應符合本規范第3．2．3條的規定。

7．1．5 潔凈室(區)內的新鮮空氣量應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

7．1．6 潔凈室(區)與周圍的空間應保持一定的靜壓差，靜壓差應符合下列規定：

      1 各潔凈室(區)與周圍空間的靜壓差應按生產工藝要求確定；

      2 不同等級的潔凈室(區)之間的靜壓差應大于等于5Pa；

      3 潔凈室(區)與非潔凈室(區)之間的靜壓差應大于5Pa；

      4 潔凈室(區)與室外的靜壓差應大于10Pa。

7．1．7 潔凈室(區)維持靜壓差值所需的壓差風量，宜采用縫隙法或換氣次數法確定。

7．1．8 送風、回風和排風系統的啟閉聯鎖、控制要求，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

7．1．9 非連續運行的潔凈室，可根據生產工藝要求設置值班送風，并應進行凈化處理。

7．1．10 潔凈室(區)的清掃方式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級等因素確定。潔凈室(區)宜采用移動式高效真空吸塵器。對于空氣潔凈度等級為1～5級的潔凈室宜設置集中式真空吸塵系統，潔凈室內的吸塵系統管道應暗敷。

7．2 氣流流型和送風量

7．2．1 氣流流型的設計，應符合下列要求：
      1 氣流流型應滿足產品生產工藝和空氣潔凈度等級的要求。空氣潔凈度等級為1～5級時，應采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6～9級時，宜采用非單向流；
      2 潔凈室工作區的氣流流速應滿足生產工藝和工作人員健康的要求。

7．2．2 潔凈室的送風量，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

7．2．3 潔凈室(區)所需的滿足空氣潔凈度等級的潔凈送風量和氣流流型，宜按表7．2．3計算。

7．3 凈化空調系統

7．3．1 潔凈廠房中的凈化空調系統可分為集中式凈化空調系統和分散式凈化空調系統。
凈化空調系統的型式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室(區)面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統，

7．3．2 潔凈廠房的潔凈室(區)送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室(區)使用功能和降低能量消耗的要求，經技術經濟比較，采用運行經濟、節約能源的送風方式。

7．3．3 凈化空調系統新風的室外吸入口位置，應遠離本建筑或其他建筑物排放有害物質或可燃物的排氣口。

7．3．4 多套凈化空調系統同時運行或較大型電子工業潔凈廠房的凈化空調系統的新風，應集中處理。

7．3．5 凈化空調系統設計應合理利用回風，但下列情況不得回風：
      1 在生產過程中向車間內散發的有害物質超過規定時；
      2 采用局部處理不能滿足衛生要求時；
      3 對其他工序有危害或不能避免交叉污染時。

7．3．6 凈化空調系統需設置電加熱時，應選用不產塵的電加熱器，且應布置在高效過濾器的上風側，并應采取安全保護措施。

7．3．7 凈化空調系統的電加濕器應采取安全保護措施。

7．3．8 根據氣象條件，存在冷凍可能的地區，新風系統應采取防凍保護措施。

7．4 空氣凈化設備

7．4．1 空氣過濾器的選用和布置應符合下列要求：
      1 空氣過濾器應根據空氣潔凈度等級選用；
      2 空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量；
      3 中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調箱的正壓段；
      4 高效(亞高效)空氣過濾器宜設置在凈化空調系統的末端；超高效空氣過濾器應設置在凈化空調系統的末端；
      5 同一凈化空調系統內末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應相近；
      6 同一凈化空調系統內末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近；
      7 對化學污染物有控制要求的潔凈室(區)，在凈化空調系統中應根據環境條件設置化學過濾器或其他去除裝置；
      8 高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應采用不燃或難燃材料制作。

7．4．2 風機過濾器機組的設置應符合下列要求：
      1 應根據空氣潔凈度等級和送風量選用；
      2 應按潔凈室(區)內生產工藝對氣流流型的要求布置；
      3 終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定；
      4 送風量應能調節；
      5 應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應滿足檢修要求。

7．4．3 層流罩的設置應符合下列要求：
      1 潔凈室(區)內等于或嚴于5級的局部凈化區域宜采用層流罩；
      2 層流罩的形式和進風方式應根據生產工藝或設備需要選用；
      3 終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定；
      4 安裝方式不應影響生產操作。

7．4．4 微環境裝置的設置應符合下列要求：
      1 當生產工藝或設備對空氣潔凈度等級、外擾或溫度、相對濕度有較高要求，且所控區域不大時，宜采用微環境裝置；
      2 微環境裝置宜與生產工藝設備配套；
      3 在不影響工藝操作的前提下，應具有可靠的密閉性，內外表面應平整、光滑；
      4 圍擋構造、材料的選用應方便生產操作。

7．4．5 干表冷器的設置應符合下列要求：
      1 安裝位置、外形尺寸應根據潔凈廠房的平面和空間布置確定；
      2 迎面風速、結構形式應根據潔凈室(區)冷負荷、風機過濾器機組所提供的機外余壓確定；
      3 冷凍水進水溫度，宜高于潔凈室(區)內空氣的露點溫度；
      4 應設置排水設施。

7．4．6 凈化空調系統空氣處理機組的選用和布置，應符合下列要求：
      1 應有良好的氣密性，漏風率不得大于1％；
      2 整體結構應有足夠的強度和剛度，內表面應平整、光滑，外表面不應結露；
      3 布置應整齊，并應便于運行和維修；當多套空氣處理機組為同一潔凈室(區)服務時，宜選用相同規格的空氣處理機組；
      4 送風機宜采取變頻調速措施。送風機可按凈化空調系統的總風量和總阻力值進行選擇。計算系統總阻力時，中效(高中效)、高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的1．5～2．0倍取值；
      5 應設置排水裝置。

7．5 采暖、通風

7．5．1 空氣潔凈度等級嚴于8級的潔凈室(區)不應采用散熱器采暖。

7．5．2 潔凈廠房內產生粉塵和有害氣體的工藝設備和輔助設備，應設置局部排風裝置，排風罩宜為密閉式。局部排風系統單獨設置的要求，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

7．5．3 潔凈室(區)的排風系統設計，應符合下列要求：
      1)應防止室外氣流倒灌；
      2)含有易燃、易爆物質的局部排風系統應按其物理化學性質采取相應防火防爆措施；
      3)局部排風系統排出的有害氣體，當其有害物質濃度超過排放標準時，應采取有效處理措施。排氣管高度和排放速率應滿足國家現行有關排放標準的規定；
      4)對含有水蒸氣或凝結物質的排風系統，應設置坡度及排放口；
      5)排風介質中含有劇毒物質時，應設置備用排風機和處理設備，并應設置應急電源；
      6)排風介質中含易燃、易爆等危險物質或工藝可靠性要求較高時，應設置備用排風機，并應設置應急電源；
      7)排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統，其風量應按在正常運行和事故情況下，風管內爆炸危險氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20％計；
      8)排除有爆炸危險氣體和粉塵的局部排風系統，應設置消除靜電的接地裝置。
7．5．4 對排風系統中含有毒性、爆炸危險性物質的排氣管路，應保持相對于路由區域一定的負壓值。

7．5．5 凈鞋室、更外衣室、盥洗室和廁所等生產輔助房間，應采取通風措施。

7．5．6 潔凈室(區)事故排風系統的設計，應符合下列規定：
      1 事故排風區域的換氣次數不應小于12次／h；
      2 應設置自動和手動控制開關，手動控制開關應分別設置在潔凈室(區)和潔凈室(區)外便于操作的地點；
      3 應設置應急電源。

7．6 排 煙

7．6．1 潔凈廠房中的疏散走廊，應設置機械排煙設施。

7．6．2 潔凈廠房排煙設施的設置應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。當同一防火分區的丙類潔凈室(區)人員密度小于0.02人／㎡，且安全疏散距離小于80m時，潔凈室(區)可不設機械排煙設施。

7．6．3 機械排煙系統宜與通風、凈化空調系統分開設置；當合用時，應采取防火安全措施，并應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

7．6．4 機械排煙系統的風量、排煙口位置、風機的設置，應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

7．7 風管、附件

7．7．1 凈化空調系統的新風吸入管應設置防倒灌裝置；送、回風管宜設置調節閥。

7．7．2 凈化空調系統風管的防火閥的設置，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。
含有可燃、有毒氣體或化學品的排風管道，不得設置熔片式防火閥。

7．7．3 凈化空調系統的風管、配件、過濾器以及密封材料等，應根據輸送空氣的潔凈度要求確定，并不得采用釋放對電子產品有影響物質的材料。

7．7．4 潔凈室(區)內排風系統的風管、閥門、附件的制作材料和涂料，應根據排除氣體的物理化學性質及其所處的空氣環境條件確定，并不得與所輸送介質發生化學反應或引起安全事故的發生。

7．7．5 凈化空調系統的送、回風總管上，應采取消聲措施，并應滿足潔凈室(區)內噪聲控制的要求。潔凈室(區)排風系統，應采取消聲措施，并應滿足室內外噪聲標準的要求。

7．7．6 在集中設置的空氣過濾器的前后，應設置測壓孔或指針式壓差計。在新風管、送風、回風總管段上，應設置風量測定孔。

7．7．7 風管附件及輔助材料的防火性能，應符合下列規定：
      1 凈化空調系統、排風系統的風管應采用不燃材料制作，但接觸腐蝕性介質的風管和柔性接頭可采用難燃防腐材料制作；
      2 排煙系統的風管應采用不燃材料制作；
      3 附件、保溫材料和消聲材料等均應采用不燃材料或難燃材料。

8 給水排水設計

8．1 一般規定

8．1．1 潔凈廠房的給水排水干管應敷設在技術夾層或技術夾道內，并宜敷設在通行的技術夾層內。條件合適時，也可埋地敷設。潔凈室(區)內管道宜暗裝，與本房間無關的管道不應穿過。

8．1．2 穿過潔凈室的水管道，應根據管內水溫和所在房間的溫度、濕度確定隔熱防結露措施。當采取隔熱防結露措施時，其外表面應光滑、平整。

8．1．3 給水排水管道穿過潔凈室(區)墻壁、樓板和頂棚時應設置套管，管道和套管之間應采取密封措施。

8．2 給 水

8．2．1 潔凈廠房內的給水系統應根據各種用途(包括工藝冷卻水)對水質、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產、生活、消防分別設置獨立的給水系統。

8．2．2 當設有危險化學品儲存和分配室時，應根據化學品的物理化學性能和人身安全的要求，設置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應環形敷設布置。

8．2．3 給水管道的管材及附件的選擇，應符合下列要求：
      1 給水系統的管材和附件的選用，應滿足生產工藝和系統工作參數的要求；
      2 埋地管道應耐腐蝕，并應具有承受相應地面荷載的能力；
      3 生產設備循環冷卻水給水和回水管道，應按生產工藝和水質要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；
      4 閥門及附件應采用與管材相同的材質。

8．3 排 水

8．3．1 生產、生活排水系統應分別設置。生產排水系統應根據電子產品生產設備排出的廢水性質、污染物濃度和水量等特點確定。有害廢水應經廢水處理達到國家或地方排放標準后排放。

8．3．2 潔凈室(區)內與電子產品生產設備相連接的重力排水管道，應在排出口以下部位設置水封裝置。排水系統應有完善的通氣系統。

8．3．3 潔凈室(區)內地漏等排水設施的設置，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

8．3．4 潔凈廠房內宜采用不易積存污物、易于清洗的衛生設備。

8．4 雨 水

8．4．1 屋面雨水排水系統應確保能迅速、及時地將屋面雨水排至室外雨水管渠或室外。

8．4．2 屋面雨水排水管道的排水設計重現期不宜小于10年。

8．4．3 屋面雨水排水工程應設置溢流口、溢流堰、溢流管系等溢流設施。屋面雨水排水工程與溢流設施的總排水能力不應小于50年重現期的雨水量。

8．4．4 雨水斗的位置應確保雨水斗連接管和懸吊管不穿過潔凈室(區)。

8．5 消防給水和滅火設備

8．5．1 潔凈廠房必須設置消防給水系統。消防給水系統的設置應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

8．5．2 潔凈廠房消火栓的設置應符合下列規定
      1 潔凈室(區)的生產層及上下技術夾層(不含不通行的技術夾層)，應設置室內消火栓；
      2 室內消火栓的用水量不應小于10L／s，同時使用水槍數不應少于2支，水槍充實水柱不應小于10m，每只水槍的出水量不應小于5L／s；
      3 潔凈廠房室外消火栓的用水量不應小于15L／s。

8．5．3 潔凈室(區)設置的固定滅火設施，應符合下列規定：
      1)設置的自動噴水滅火系統，應符合現行國家標準《自動噴水滅火系統設計規范》GB 50084的有關規定。噴水強度不應小于8L／min·㎡，作用面積不應小于160㎡；
      2)設置的氣體滅火系統，應符合現行國家標準《氣體滅火系統設計規范》GB 50370和《二氧化碳滅火系統設計規范》GB50193的有關規定，
      3)存放可燃氣體鋼瓶的特氣柜中應設置自動滅火設施。
8．5．4 潔凈廠房內各場所應配置滅火器，并應符合現行國家標準《建筑滅火器配置設計規范》GB 50140的有關規定。

9 純水供應

9．1 一般規定

9．1．1 電子產品生產用純水系統的選擇，應根據原水水質和產品生產工藝對水質的要求，并結合系統規模、材料及設備供應等情況，經技術經濟比較確定。

9．1．2 純水的輸送干管應敷設在技術夾層或技術夾道內；潔凈室(區)內的純水支管宜暗裝。

9．1．3 穿越潔凈室(區)墻壁、樓板、頂棚的純水管道應設套管，套管與管道之間應采取密封措施。

9．1．4 潔凈室(區)內純水管道的保溫材料，不得產生污染物，外表面應平整、光滑、易于清潔。

9．2 純水系統

9．2．1 純水系統的設備配置除應滿足所需水量和水質的要求外，還應滿足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低等要求。

9．2．2 純水的制備、儲存和輸送設備，應符合電子產品生產工藝的要求，并應符合下列規定：
      1 純水的制備、終端處理設備的選型和制造材料的選擇，應滿足供水水質、終端水質的要求；
      2 純水儲罐、輸送設備的選型和制造材料的選擇，應確保水質污染少、密封性好，不得有滲氣現象；
      3 純水制備、儲存、輸送設備應有效地防止水質降低。

9．2．3 純水系統應采用循環供水方式，宜采用單管式循環供水系統或設有獨立回水管的雙管式循環供水系統，并應符合下列規定：
      1 循環回流水量應大于設計供水量的30％；
      2 干管流速應大于等于1．5m／s；
      3 不循環支管的長度不應大于管徑的6倍；
      4 干管應設置清洗口；
      5 管道系統必須密封，不得有滲氣現象；
      6 應配備在線水質檢測儀表；
      7 對純水水質要求嚴格的電子產品生產工藝，應采用雙管式循環供水系統。

9．2．4 純水系統中與純水直接接觸的設備表面應光潔、平整、化學性質穩定、耐腐蝕、易清洗、易消毒。

9．2．5 用于純水系統的水質檢測設備、量具、儀表，其連接不應使純水水質降低，其檢測范圍和精度應符合純水生產和檢驗的要求。

9．2．6 純水精處理或終端處理裝置宜靠近用水生產設備設置。

9．3 管材、閥門和附件

9．3．1 純水系統管道材質的選用，應符合下列要求：
      1 應滿足純水水質指標的要求；
      2 材料的化學穩定性應好；
      3 管道內壁光潔度應好；
      4 不得有滲氣現象。

9．3．2 純水管道的閥門和附件的選用應符合下列規定：
      1 應選擇與管道相同的材質；
      2 應選用密封好、結構合理、無滲氣現象的閥門；
      3 對純水的水質要求嚴格的產品生產工藝用純水系統，應采用隔膜閥。

10 氣體供應

10．1 一般規定

10．1．1 潔凈廠房內應根據生產的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質應滿足生產工藝要求。

10．1．2 常用氣體的供氣方式和供氣系統，應根據氣體用量、氣體品質和當地的供氣狀況等因素，經技術經濟比較后確定。

10．1．3 潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統，除應符合本規范外，還應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB50016、《氫氣站設計規范》GB 50177和《氧氣站設計規范》GB 50030等的有關規定。

10．1．4 潔凈廠房內的氣體管道的干管，應敷設在技術夾層或技術夾道內。當與水、電管線共架時，比空氣重的氣體管道宜設在水、電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設在水、電管線上部。

10．1．5 潔凈室(區)內的可燃氣體管道和有毒氣體管道應明敷，穿過潔凈室(區)的墻壁或樓板處的管段應設置套管，套管內的管道不得有焊縫，套管與管道之間應采取密封措施。

10．1．6 可燃氣體管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間；當必須穿過時應設套管或雙層管。

10．1．7 高純氣體管道設計應符合下列規定：
      1 管徑應按氣體容許流量、壓力或生產工藝設備確定，管外徑不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm，
      2 不得出現不易吹除的“盲管”等死空間，
      3 管道系統應設置吹掃口和取樣口。

10．1．8 潔凈廠房的可燃氣體管道系統應設置下列安全設施：
      1）可燃氣體管道設置閥門時應設置閥門箱，閥門箱應設置氣體泄漏報警和事故排風裝置，報警裝置應與相應的事故排風機聯鎖；
      2）接至用氣設備的支管和放散管，宜設置阻火設施；
      3）引至室外的放散管，應設置防雷保護設施，
      4）應設置導除靜電的接地設施。
10．1．9 氣體過濾器應根據產品生產工藝對氣體潔凈度的要求進行選擇和配置。終端氣體過濾器應設置在靠近用氣點處。

10．2 常用氣體系統

10．2．1 常用氣體供應系統宜在工廠內或鄰近處設置制氣裝置或采用外購液態氣體、瓶裝氣體。

10．2．2 氫氣、氧氣管道的終端或最高點應設置放散管。氫氣放散管口應設置阻火器。放散管引至室外，應高出本建筑的屋脊1m，并應采取防雨、防雜物侵入的措施。

10．2．3 氣體純化裝置的設置，應符合下列要求：
      1 氣體純化裝置應根據氣源和產品生產工藝對氣體純度、容許雜質含量要求選擇；
      2 氣體純化裝置宜設置在氣體純化間(站)內。當潔凈廠房設有氣體入口室時，氣體純化間宜與氣體入口室合建；
      3 各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間(站)內。若有特殊要求時，也可根據具體要求分別設置在各自的氣體純化間內；
      4 氣體終端純化裝置宜設置在鄰近用氣點處。

10．2．4 進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等，宜集中設置在氣體入口室。

10．2．5 氣體純化間(站)或氣體入口室內，設有氫氣等可燃氣體純化裝置或管道時，氣體純化間(站)或氣體入口室的火災危險性應按甲類確定，并應符合下列規定：
      1 應靠外墻設置，并應設置防爆泄壓設施；
      2 氫氣等可燃氣體引入管道上應設置自動切斷閥；
      3 應具有良好的自然通風，并應設置事故排風裝置；
      4 應設置氣體泄漏報警裝置，并應與事故排風裝置聯鎖；
      5 應設置導除靜電的接地設施。

10．2．6 潔凈廠房內的氧氣管道等，應采取下列安全技術措施：
      1 管道及閥門、附件應經嚴格的脫脂處理；
      2 應設置導除靜電的接地設施；
      3 氧氣引入管道上應設置自動切斷閥。

10．2．7 各種常用氣體的氣瓶庫應集中設置在潔凈廠房外。當日用氣量不超過1瓶時，氣瓶可設置在潔凈室(區)內，但應采取不積塵和易于清潔的措施。

10．2．8 氣體管道和閥門應根據產品生產工藝要求選擇，宜符合下列規定：
      1 氣體純度大于或等于99.999999％時，應采用內壁電拋光的低碳不銹鋼管，閥門應采用隔膜閥；
      2 氣體純度大于或等于99．999％、露點低于-76℃時，宜采用內壁電拋光的低碳不銹鋼管或內壁電拋光的不銹鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥；
      3 氣體純度大于或等于99．99％、露點低于-60℃時，宜采用內壁拋光的不銹鋼管，除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外，其余氣體管道宜采用球閥；
      4 氣體管道閥門、附件的材質宜與相連接的管道材質一致。

10．2．9 氣體管道連接，應符合下列規定：
      1 管道連接應采用焊接，
      2 不銹鋼管應采用氬弧焊，宜采用自動氬弧焊或等離子熔融對接焊；
      3 管道與設備或閥門的連接，宜采用表面密封的接頭或雙卡套，接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；
      4 管道與設備的連接應符合設備連接的要求。當采用軟管連接時，宜采用金屬軟管。

10．3 干燥壓縮空氣系統

10．3．1 潔凈廠房內的干燥壓縮空氣系統應根據各類產品生產工藝要求、供氣量和供氣品質等因素確定，并應符合下列規定，
      1 供氣規模應按產品生產所需供氣量和計入必要損耗量確定，并應設有一定的備用供氣量；
      2 供氣品質應根據生產工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定；
      3 供氣系統可集中設置在潔凈廠房內的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站；
      4 應選用能耗少、噪聲低的設備，宜選用無油潤滑空氣壓縮機；
      5 含水量要求嚴格時，宜選用加熱再生吸附干燥裝置。

10．3．2 干燥壓縮空氣管道內輸送露點低于-76℃時，應采用內壁電拋光低碳不銹鋼管或內壁電拋光不銹鋼管；露點低于-40℃時，宜采用不銹鋼管或熱鍍鋅無縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。

10．3．3 管道連接應符合下列規定：
      1 宜采用焊接，不銹鋼管應采用氬弧焊；
      2 含水量露點嚴于-40℃時，用于管道連接的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；
      3 當采用軟管連接時，宜采用金屬軟管。

10．4 特種氣體系統

10．4．1 特種氣體應采用外購鋼瓶氣體、液態氣體供應，在電子工廠內應設置儲存、分配系統。

10．4．2 潔凈廠房內特種氣體的儲存分配間應采用耐火極限不低于2．0h不燃燒體的隔墻與潔凈室(區)分隔，隔墻上的門窗應為甲級防火門窗。

10．4．3 潔凈室(區)內可燃或有毒的特種氣體分配系統的設置，應符合下列規定：
      1 特種氣體鋼瓶(含硅烷或硅烷混合物)應設置在具有連續機械排風的特氣柜中；
      2 排風機、泄漏報警、自動切斷閥均應設置應急電源；
      3 一個特氣分配系統供多臺生產設備使用時，應設置多路閥門箱；
      4 可燃性、氧化性特種氣體管道的設置應符合本規范第10．1和10．2節的有關規定。

10．4．4 特種氣體分配系統應設置吹掃盤，并應符合下列規定：
      1 應設置應急切斷裝置；
      2 應設置過流量控制裝置，
      3 應設置手動隔離閥；
      4 吹掃氣源不宜采用常用氣體系統；
      5 不相容特種氣體的吹掃盤不得共用吹掃氣瓶。

10．4．5 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應存放在潔凈廠房建筑外的儲存區內。儲存區的設置應符合下列規定：
      1 儲存區應至少三面敞開，氣瓶應固定在鋼制框架上；
      2 氣瓶或氣瓶組與周圍的構筑物或圍欄的間距應大于3．0m；
      3 儲存區頂棚的高度應大于3．5m。

11 化學品供應

11．1 一般規定

11．1．1 潔凈廠房內化學品的儲存、輸送方式，應根據產品生產工藝和化學品的品質、數量、物理化學特性等確定。

11．1．2 潔凈廠房內使用的各類化學品應按照各自的物理化學特性分類和儲存，并應符合現行國家標準《常用危險化學品的分類及標志》GB 13690的有關規定。

11．1．3 在潔凈室(區)內使用危險化學品的生產設備或空間，應采取相應的安全保護措施。

11．2 化學品儲存、輸送

11．2．1 潔凈廠房內各種化學品儲存間(區)的設置，應符合下列規定：
      1 化學品儲存間(區)的儲量不應超過該化學品24h的消耗量；
      2 化學品應按物化特性分類儲存；當物化性質不容許同庫儲存時，應采用實體墻分隔；
      3 危險化學品應儲存在單獨的儲存間或儲存分配間內，與相鄰房間應采用耐火極限大于1．5h的隔墻分隔；
      4 危險化學品儲存、分配間宜靠外墻布置；
      5 各類化學品儲存、分配間應設置機械排風。機械排風應采用應急電源；
      6 易爆化學品儲存、分配間，應采用不發生火花的防靜電地面；
      7 輸送易燃、易爆化學品的管道，應設置導除靜電的接地設施；
      8 接至用戶的輸送易燃、易爆化學品的總管上，應設置自動和手動切斷閥。

11．2．2 潔凈廠房內采用容器傳送危險化學品時，應符合下列規定：
      1 嚴禁在出入口、疏散走廊儲存和分配危險化學品。潔凈廠房內運送易燃化學品的走廊應設置自動滅火系統；
      2 運送危險化學品的推車運載量不得超過250L；單個容器的容量不應超過20L；
      3 物理化學特性不相容的危險化學品不得采用同一推車運送。

11．2．3 當采用壓力罐輸送危險化學品時，應符合下列規定：
      1 輸送系統設備、管道應采用與所輸送的化學品相容的材質；
      2 壓力罐應設置減壓通風口，減壓通風口的排氣管應接至安全區域；
      3 輸送系統應只容許采用氮氣增壓，
      4 在分配和使用處應設置手動切斷閥；
      5 應設置液位監控和自動關閉裝置，并應設置溢流應對設施。

11．2．4 危險化學品的儲存、分配間應設置排水系統，并應符合下列規定：
      1 含可燃液體的排水，應排入相關的生產排水管道，不得排入易產生化學反應以及引起火災或爆炸的排水管道；
      2 物理化學特性不相容的化學品，應分別單獨設置排水系統。

11．2．5 液態危險化學品的儲存、分配間，應設置溢出保護設施，并應符合下列規定：
      1 儲存罐或罐組應設置保護堤，保護堤堤內容積應大于最大儲罐的容積或20min消防用水量；保護堤的高度不應低于500mm；
      2 化學品相互接觸引起化學反應的可燃液體儲罐或罐組之間，應設置隔堤，隔堤不得滲漏；管道穿過隔堤時應采用不燃材料密封。隔堤高度不應低于400mm；
      3 應設置液體泄露報警裝置；
      4 應設置緊急淋浴和洗眼器。

11．3 管材、閥門

11．3．1 化學品供應系統管道材質的選用，應按所輸送化學品的物理化學性質確定，并應選擇化學穩定性能良好和相容性好的材料。

11．3．2 輸送腐蝕性化學品的管道，可直接采用非金屬管材，但應設置保護套管。

11．3．3 化學品輸送管路系統，對多臺生產設備供應化學品時，應設置分配閥箱。

11．3．4 輸送有機溶劑的管道材質，宜采用低碳不銹鋼管；輸送酸、堿類管道材質，宜采用聚四氟乙烯。用于管道系統的墊片，宜采用氟橡膠或聚四氟乙烯。

11．3．5 用于化學品管路的閥門材質應與管道材質一致。

12 電氣設計

12．1 配 電

12．1．1 潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應根據電子產品生產工藝及設備要求和現行國家標準《供配電系統設計規范》GB 50052的有關規定確定。

12．1．2 潔凈廠房低壓配電電壓等級應符合生產工藝設備用電要求。帶電導體系統的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統。

12．1．3 電子產品生產用主要工藝設備，應由專用變壓器或專用低壓饋電線路供電。對電源連續性有特殊要求的生產設備、動力設備，宜設置不間斷電源或備用發電裝置等。在潔凈室(區)內宜設置獨立的檢修電源。

12．1．4 潔凈廠房的凈化空調系統(含制冷機)，應由變電所專線供電。

12．1．5 潔凈廠房的電源進線(不包括消防電源進線)應設置手動切斷裝置，手動切斷裝置宜設置在潔凈室(區)外便于操作管理的場所。

12．1．6 潔凈室(區)內的配電設備，應選擇不易積塵、便于擦拭的小型、暗裝設備，不宜設置落地安裝的配電設備。配電設備宜設置在下技術夾層，并應在頂部設擋水設施。

12．1．7 潔凈廠房的電氣管線宜敷設在技術夾層或技術夾道內，宜采用低煙、無鹵型電纜，穿線導管應采用不燃材料。潔凈生產區的電氣管線宜暗敷，電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設備與墻體接縫處應采取密封措施。

12．1．8 潔凈廠房內，可燃氣體或液體的儲存、分配間的電氣設計，應根據可燃氣體或液體的特性確定，并應符合現行國家標準《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》GB 50058的有關規定。

12．2 照 明

12．2．1 潔凈室(區)的主要生產用房間一般照明的照度值宜為300～500lx；輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200～300 lx。

12．2．2 對照度有特殊要求的電子產品生產部位應設置局部照明，其照度值應根據生產操作的要求確定。

12．2．3 潔凈廠房備用照明的設置應符合下列規定：
      1 潔凈室(區)內應設備用照明；
      2 備用照明宜作為正常照明的一部分，且不應低于該場所一般照明照度值的20％；
      3 備用照明的電源宜由變電所專線供電。

12．2．4 潔凈廠房內應設置供人員疏散用的應急照明，其照度不應低于5．0lx。在安全出入口、疏散通道或疏散通道轉角處應設置疏散標志。在專用消防口應設置紅色應急照明指示燈。

12．2．5 潔凈室(區)內照明光源，宜采用高效熒光燈。對有感光度要求的生產場所，宜采用黃色光源。

12．2．6 潔凈室(區)內一般照明燈具的選擇與布置，應符合下列規定：
      1 潔凈室(區)內宜采用吸頂明裝、不易積塵、便于清潔的潔凈燈具；
      2 空氣潔凈度等級嚴于或等于5級的潔凈室(區)，宜采用淚珠型燈具；

      3 當采用嵌入式燈具時，其安裝縫隙應采取密封措施；
      4 潔凈室(區)內燈具的布置，不應影響氣流流型，并應與送風口協調布置。

12．3 通信與安全保護裝置

12．3．1 潔凈廠房內應設置通信設施，通信設施的設置應符合下列要求：
      1 潔凈室(區)內應設置內外聯系的通信設施。每個工序宜設置有線語音插座；
      2 潔凈室(區)內設置的無線通信系統，不得對電子產品生產設備造成干擾；
      3 數據通信裝置應根據管理及電子產品生產工藝的需要設置；
      4 通信線路宜采用綜合布線系統，綜合布線系統的配線間不應設在潔凈室(區)內。

12．3．2 潔凈廠房應設置火災自動報警系統，其防護等級應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定。當防火分區面積超過現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016規定的最大建筑面積允許值時，保護等級應為一級。

12．3．3 潔凈廠房的消防控制室不應設在潔凈室(區)內。消防專用電話總機的設置應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規范3GB 50116的有關規定，并應在下列場所設置消防專用電話：
      1 潔凈室(區)的入口處；
      2 應急處理中心；
      3 中央控制室；
      4 特種氣體管理室。

12．3．4 潔凈廠房內火災探測器的設置應符合下列規定．
      1 潔凈生產區、技術夾層、機房、站房等均應設置火災探測器，其中潔凈生產區、技術夾層應設置智能型探測器；
      2 當潔凈廠房防火分區面積超過現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的規定時或頂部安裝點式探測器不能滿足現行規范設計要求時，在潔凈室(區)內凈化空調系統混入新風前的回風氣流中應設置靈敏度嚴于0．01％obs／m的早期煙霧報警探測器；
      3 硅烷儲存、分配間(區)，應設置紅外線-紫外線火焰探測器；
      4 潔凈生產區、走道和技術夾層(不包括不通行的技術夾層)應設置手動報警按鈕和聲光報警裝置。

12．3．5 潔凈廠房應設置火災自動報警及消防聯動控制。控制設備的控制及顯示功能應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定，潔凈室(區)火災報警應進行核實，當確認火災后，在消防控制室應對下列各項進行手動控制：
      1 關閉有關部位的電動防火閥，停止相應的凈化空調系統的送風機、排風機和新風機，并接收其反饋信號；
      2 啟動排煙風機，并接收其反饋信號；
      3 在消防控制室或低壓配電室，手動切斷有關部位的非消防電源。

12．3．6 潔凈廠房內下列場所應設置氣體泄漏報警裝置：
      1 易燃、易爆、有毒氣體的儲存分配間(區)；
      2 易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門箱內；
      3 工藝設備的氣體分配箱和排風管內。

12．3．7 潔凈廠房內氣體報警裝置的聯動控制，應符合下列規定：
      1 應自動啟動相應的事故排風裝置；
      2 應自動關閉相關部位的進氣閥；
      3 應自動關閉相關部位的電動防火門、防火卷簾門；
4 報警信號應發送至消防控制室和氣體控制室。應自動啟動泄漏現場的聲光警報裝置和應急廣播。

12．3．8 潔凈廠房內易燃、易爆、有毒氣體泄漏報警值應為其爆炸下限值或允許濃度值的20％。

12．3．9 潔凈廠房設置的事故應急廣播系統應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定。潔凈室(區)內應采用不影響空氣潔凈度等級的揚聲器。

12．3．10 潔凈廠房內的安全保護系統應設置應急電源。

12．3．11 潔凈室(區)火災報警、氣體泄漏報警系統的控制、通訊和警報線路應采用阻燃型電纜，電纜敷設應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定。

12．3．12 潔凈廠房內的各類安全保護系統均應可靠接地，系統接地應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定。

12．4 自動控制

12．4．1 潔凈廠房的自動控制系統宜采用集散式網絡結構，并應具有穩定、可靠、節能、開放和可擴展性。

12．4．2 潔凈廠房應對凈化空調、供熱、供冷、純水和氣體供應等系統進行自動監控。

12．4．3 潔凈室(區)內外的壓差監測，宜采用壓差變送器通過控制系統調節潔凈室(區)的送風量或回風量。

12．4．4 凈化空調系統采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯鎖控制，并應設置無風、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應設置無水、無風斷電保護。

12．4．5 在滿足生產工藝要求的前提下，宜對風機、水泵等動力設備采取變頻調速等節能控制措施。

12．5 接 地

12．5．1 功能性接地、保護性接地、電磁兼容性接地、建筑防雷接地宜采用共用接地系統。接地電阻值應按其中最小值確定，且不應大于1Ω。

12．5．2 當電子設備的功能接地要求分開設置時，應設有防止雷電反擊設施。分開設置的接地系統接地極應與共用接地系統接地極保持20m以上的間距。

12．5．3 潔凈廠房防雷接地設計應符合現行國家標準《建筑物防雷設計規范》GB 50057的有關規定。

13 防靜電與接地設計

13．1 一般規定

13．1．1 潔凈廠房應根據生產工藝要求設置防靜電環境。防靜電環境設計應滿足抑制或減少靜電的產生，以及將已產生的靜電迅速、安全、有效地排除的要求。

13．1．2 防靜電環境設計應按電子產品或生產工序(設備)進行分級。防靜電環境內靜電電位絕對值應小于電子產品的靜電電位安全值。防靜電環境設計應分為三級，防靜電環境設計分級適用場所應符合表13．1．2的要求。

13．2 防靜電措施

13．2．1 潔凈廠房防靜電環境中，防靜電地面的面層結構和材料應符合下列要求：
      1 防靜電地面面層的選擇，應滿足電子產品生產工藝的要求；
      2 防靜電地面的表層應采用靜電耗散性材料，靜電耗散性材料表面電阻率應為2．5×104～1×109Ω；
      3 防靜電地面應設置導靜電泄放設施和接地連接，其地面對地泄放電阻值應為1×105～1×108Ω。

13．2．2 潔凈廠房防靜電環境的吊頂、墻面和柱面的裝飾設計，應符合下列要求：
      1 一級防靜電工作區的地面、墻面和柱面應采用導靜電型。導靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應為2．5×104～1×106Ω，摩擦起電電壓不應大于100V，靜電半衰期不應大于0．1s；
      2 二級防靜電工作區的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對地電阻應為1×106～1×109Ω，摩擦起電電壓不應大于200V，靜電半衰期不應大于1s，但軟簾的摩擦起電電壓不應大于300V；
      3 三級防靜電工作區的地面、墻面和柱面宜根據生產工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料，頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面，應符合本條第2款的要求；選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應大于1000V。

13．2．3 潔凈廠房防靜電環境的門窗設計，應符合下列要求：
      1 應選用靜電耗散材料制作門窗或采用耗散材料貼面；
      2 金屬門窗表面應涂刷靜電耗散性涂層，并應接地；
      3 室內隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時，玻璃表面應粘貼靜電耗散性透明薄膜或噴涂靜電耗散性涂層。

13．2．4 潔凈廠房防靜電環境的裝修設計應符合下列要求：
      1 各類裝修材料應具有表面靜電耗散性能，不得使用未經表面改性處理的高分子絕緣的裝飾材料；
      2 各類裝修的飾面應平整光滑。

13．2．5 潔凈廠房防靜電環境的凈化空調系統送風口和風管，應選用導電材料制作，并應接地。

13．2．6 潔凈廠房防靜電環境的凈化空調系統、各種配管使用部分絕緣性材質時，應在其表面安裝金屬網，并應將其接地。當使用導電性橡膠軟管時，應在軟管上安裝與其緊密結合的金屬導體，并應采用接地引線與其可靠連接接地。

13．2．7 潔凈廠房防靜電環境中，應根據生產工藝的需要設置靜電消除器、防靜電安全工作臺。

13．3 防靜電接地

13．3．1 潔凈廠房內金屬物體包括潔凈室(區)的墻面、門窗、吊頂的金屬骨架，應與接地系統做可靠連接，導靜電地面、活動地板、工作臺面、座椅等應做靜電接地。

13．3．2 靜電接地的連接線應有足夠的機械強度和化學穩定性，其主干線截面不應小于95mm2 ，支線最小截面應為2．5mm2 。

13．3．3 與人體接觸的靜電接地應串接限流電阻，限流電阻的阻值宜為1MΩ。

13．3．4 對電子產品生產過程中產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道，應采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災危險的設備、管道應符合現行國家標準《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》GB 50058的有關規定。

14 噪聲控制

14．1 一般規定

14．1．1 潔凈廠房的噪聲控制，應滿足電子產品生產的要求，并應保持工作人員具有舒適、安全的環境。

14．1．2 潔凈廠房的噪聲控制設計應符合現行國家標準《工業企業噪聲控制設計規范》GBJ 87的有關規定。

14．1．3 潔凈室(區)的噪聲控制設計的噪聲級(空態)應符合本規范第3．2．5條的規定。

14．1．4 潔凈室(區)的噪聲頻譜限制值，應采用倍頻程聲壓級，各頻帶聲壓級應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

14．2 噪聲控制設計

14．2．1 潔凈廠房的平面、空間布置時，應根據噪聲控制要求布置，宜集中布置發聲設備。

14．2．2 潔凈室(區)內的各種設備均應選用低噪聲產品。對于輻射噪聲值超過規定的設備，應根據設備的特性、外形尺寸等因素，采取降低聲源噪聲的隔聲設施。潔凈室的圍護結構應具有良好的隔聲性能。

14．2．3 凈化空調系統、公用動力設備和輸送管道等潔凈廠房的主要噪聲源，應采取隔聲、消聲、隔振等噪聲控制措施。空調機房、動力站房宜采取下列措施：
      1 圍護結構宜采取吸聲和隔聲處理；
      2 對輻射噪聲值超過規定的設備，應設置隔聲屏、隔聲罩或懸掛吸聲體等；
      3 機房、站房內控制室的圍護結構，宜采用隔聲性能良好的材料。

14．2．4 潔凈室(區)內的各類排風系統(不包括事故排風系統)應設置消聲器等降噪設施。

15 微振控制

15．1 一般規定

15．1．1 潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行，應包括設計、施工和投產等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。

15．1．2 設計有微振控制要求的潔凈廠房時，應符合下列規定：
      1 總平面布置時，應核實相鄰廠房、建筑物或構筑物對精密設備、儀器的振動影響；
      2 設有精密設備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎構造、結構選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計；
      3 對設有精密設備、儀器的潔凈室(區)有振動影響的動力設備及其管道，應采取主動隔振措施；
      4 潔凈室(區)內精密設備、儀器，經測試確認受到周圍振動影響時，應采取被動隔振措施。

15．2 容許振動值

15．2．1 微振動控制設計應根據精密儀器、設備的特性，采取綜合隔振措施，并應滿足容許振動值的要求。

15．2．2 精密設備、儀器的容許振動值物理量的表述，應采用時間域或頻率域的振動加速度、振動速度和振動位移等。

15．2．3 精密儀器、設備的容許振動值，應由制造商提供。無法確定時，可按本規范附錄C或根據其工作特性確定。

15．3 微振動控制設計

15．3．1 潔凈廠房的微振動控制設計，應按下列階段進行微振動測試分析。
      1 場地環境振動測試及分析；
      2 潔凈廠房建筑結構振動特性測試及分析；
      3 精密設備、儀器安裝地點環境振動測試及分析；
      4 微振動控制的最終測試及分析。

15．3．2 有微振動控制要求的潔凈室(區)，其建筑結構的微振動控制設計，應符合下列規定：
      1 建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎應有足夠剛度；
      2 應設置獨立的建筑結構微振動控制體系，并應與廠房主體結構分隔；
      3 主體結構應根據微振動控制的要求，適當加大梁、柱、墻、基礎等截面尺寸。

15．3．3 有強烈振動的設備和管道，宜采取主動隔振措施，并應符合下列要求．
      1 宜采用隔振臺(座)；
      2 應選用剛度適當的隔振器，
      3 通往潔凈室(區)的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。

15．3．4 潔凈室內精密設備、儀器的被動隔振措施的設計，應符合下列要求：
      1 隔振臺(座)應具有足夠的剛度；
      2 應采用低剛度隔振設施；
      3 隔振系統各向阻尼比不應小于0．15；
      4 隔振臺(座)應采取傾斜校正措施；
      5 隔振設施不應影響氣流流型，
      6 當采用空氣彈簧隔振器時，其供氣系統應進行凈化處理，并應達到潔凈室空氣潔凈度等級的要求。

附錄A 各類電子產品生產對空氣潔凈度等級的要求

附錄B 電子產品生產間／工序的火災危險性分類舉例

      注 ① 表中房間在設備密閉性良好，并設有氣體或可燃蒸氣報警裝置和滅火裝置時，應按丙類設防，否則仍應按甲類設防。
      ② 屏錐加工車間中低熔點玻璃配制和低熔點玻璃涂復間面積超過本層或防火分區總面積5％時，生產類別應為乙類設防。
      ③ 光纜外皮采用發泡塑料時，該生產線應為丙類。

附錄C 精密儀器、設備的容許振動值舉例

附錄D 潔凈室(區)性能測試和認證

D．1 通 則

D．1．1 潔凈室(區)應定期進行性能測試。以認證潔凈室(區)始終符合本規范的要求。

D．1．2 潔凈室(區)性能測試認證工作，應由專門檢測認證單位承擔，并應提交檢測報告。

D．1．3 測試和認證工作之前，系統應達到穩定運行。測試儀表應在標定證書有效使用期內。

D．1．4 潔凈室(區)的占用狀態應有空態、靜態、動態，其性能測試和認證宜為靜態或動態。

D．2 潔凈室(區)性能測試要求

D．2．1 確認潔凈室(區)符合本規范要求，應進行下列基本測試：
      1 空氣潔凈度等級測定；
      2 靜壓差；
      3 風速或風量。

D．2．2 空氣潔凈度等級、靜壓差、風速或風量的認證測試的最長時間間隔應符合表D．2．2—1和表D．2．2—2的規定。

      注1 若潔凈室(區)運行中已對粒子濃度、風速、靜壓差進行連續監測，且其測試值均符合本規范要求時，認證的測試時間間隔可延長。具體間隔時間，可與認證單位洽商。

      2 空氣潔凈度等級認證，可在靜態或動態檢測，洽商確定，
      3 風量測定，應采用風速計在風口或風管測定。

D．2．3 電子工業潔凈室(區)的認證測試，除空氣潔凈度等級、靜壓差、風速或風量測試外，還應根據需要進行表D．2．3規定的洽商選擇測試項目。

D．3 潔凈室測試方法

D．3．1 風量或風速測試，應符合下列規定：
      1 對于單向流潔凈室，應采用截面平均風速和截面乘積的方法確定送風量，并應取離高效過濾器300mm垂直于氣流的截面作為測試平面。應將測試平面分成相等的柵格，每個柵格尺寸應為600mm×600mm或末端空氣過濾器尺寸，測點應在柵格中心或不應少于3點。每一點的測試時間不應少于10s。應記錄平均值、最大值和最小值，并應以算術平均值作為平均風速。
      2 對于非單向流潔凈室，每一點的測試時間不應少于10s。
      3 在每個末端空氣過濾器或散流器處，應采用風口法、風管法、風罩法等測量送風風速確定送風量，每個測試位置的測點數不應少于3點。

D．3．2 靜壓差測試，應符合下列規定：
      1 靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行。
      2 儀器宜采用各種型式的微壓計，儀表靈敏度應小于1.0Pa。
      3 潔凈廠房有多個潔凈室(區)時，應從最里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始，并應按順序向外進行檢測。

D．3．3 已安裝的空氣過濾器泄漏測試，應符合下列規定：
      1 儀器應使用采樣量大于1 l／mm的光學粒子計數器。
      2 應在過濾器上風側引入大于等于0．1μm(0．5μm)粒子，粒子濃度應大于3．5×107P／m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過濾器下風側應用粒子計數器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20～30mm處，并應以5～20mm／s速度移動。應檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。

D．3．4 潔凈度的檢測，應符合下列規定：
      1 應使用采樣量大于1 l／min光學粒子計數器，應根據粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數效率等要求選用儀器。儀器應有有效的標定合格證書。
      2 最少采樣點應按下式計算：
NL＝A0.5 (D．3．4—1)
式中 NL——最少采樣點；
A——潔凈室或被控潔凈區的面積(㎡)。
采樣點應均勻分布于潔凈室(區)的整個面積內，并應位于工作區的高度。
      3 每一采樣點的每次采樣量應按下式確定：

      4 當潔凈室(區)僅有一個采樣點時，則在該點應至少采樣3次。

D．3．5 氣流流型的檢測，應符合下列規定：
      1 氣流流型的檢測，宜采用氣流目測法。
      2 氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注入法，并應用圖像處理技術記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應成為潔凈室(區)的一種污染源。
      3 示蹤線法應為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等，直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。
      4 示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學法生成的乙醇／正二醇等示蹤劑粒子的特性，在高強度光源下進行觀察或做成圖像。
      5 應采用圖像處理技術進行氣流目測，本法一般是與示蹤法結合，將在攝像機或膜上的粒子圖像等經技術處理得到氣流特性。
      6 氣流目測的測點位置、儀器等，應根據潔凈室(區)的具體條件洽商確定。

D．3．6 溫度、相對濕度的檢測，應符合下列規定：
      1 溫度、相對濕度的檢測應在潔凈室(區)內氣流分布均勻狀態測試，并應在凈化空調系統試運轉合格后安排進行。溫度、相對濕度檢測應在凈化空調系統已經運轉，并應至少穩定運行1．0h后進行。
      2 相對濕度檢測應將潔凈工作區劃分為等面積網格，每格最大面積應為100㎡，應每格一個測點，但每個房間不應少于2個測點。
      3 檢測用探測器應設在潔凈室(區)內的工作高度，且距潔凈室(區)的吊頂、墻和地面不應少于300mm。并應考量潔凈室(區)內可能存在的熱源的影響。
      4 檢測時間應至少1．0h，并應至少6mm進行1次(30s)讀數、記錄。

D．3．7 噪聲檢測，應符合下列規定：
      1 潔凈室(區)內的噪聲檢測應采用帶倍頻程分析的聲級計。
      2 潔凈室(區)內的噪聲檢測點應根據電子產品生產工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1．1～1．5m，距墻應大于3m；檢測點的布置宜按潔凈室(區)面積均分，宜每100m2設一檢測點。

D．3．8 照度測試，應符合下列規定：
      1 潔凈室(區)內照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。
      2 照度檢測應在室內溫度穩定、光源光輸出穩定后進行。潔凈室(區)照度檢測不應包括生產設備等的局部照明和備用照明。
      3 照度檢測點應設在工作高度，宜距地面0．85m，應每25㎡設一個測點。

D．3．9 微振檢測，應符合下列規定：
      1 潔凈室(區)內有微振控制要求的場所的檢測，應采用符合精密設備、儀器容許振動值要求的微振測試分析系統進行分階段測試。
      2 微振檢測點應根據潔凈室(區)內需進行微振控制的精密設備、儀器的布置和微振控制設計的要求設置，一般檢測點應設在微振控制相關的地面、樓面、基礎面等。
      3 微振控制的檢測應由具有相應資質的單位進行。現場檢測數據等應經過科學分析后，提供微振控制檢測報告，應包括檢測數據的分析、結論等。

D．3．10 自凈時間檢測，應符合下列規定：
      1 自凈時間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。
      2 自凈時間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發生器等人工塵源為基準，并宜以粒子計數器進行檢測，同時應符合下列要求。
      1)以大氣塵為基準時，則必須將潔凈室停止運行相當時間，在室內含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度(N0)。然后開機，定時讀數(一般可設置每間隔6s讀數一次)，直到回風口處的含塵濃度回復到原來的穩定狀態，記錄下所需的時間(t)。
      2)以人工塵源為基準時，應將煙霧發生器放置在離地面1．8m以上室中心，發煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度(N0)。然后開機，方法同上。
      3 由初始濃度(N0)、室內達到穩定的濃度(N)、實際換氣次數(n)，可得到計算自凈時間(t0)，與實測自凈時間(t)進行對比，如果t≤1. 2t0，為合格。
      4 自凈時間檢測方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應洽商確定。

D．3．11 密閉性檢測，應符合下列規定：
      1 密閉性檢測或稱抑制滲漏測試，是測定潔凈室(區)有無受污染的空氣從周圍具有相同或不相同靜壓的較低潔凈度等級的潔凈室(區)或非潔凈室(區)侵入。本檢測一般用于ISO 1～5級潔凈室(區)。
      2 采用粒子計數器法檢測潔凈室(區)的密閉性，檢測時應先測量緊靠被測圍護結構表面外部的懸浮粒子濃度，一般此濃度應比潔凈室(區)內濃度大104，并大于等于3. 5×106個／m3待測粒徑的粒子。
      3 潔凈室(區)的施工接縫，包括對墻板、吊頂的接縫和管線、燈具等的接縫的滲漏檢測，應在被測部位的50～100mm處掃描，其掃描速度為50mm／s。
潔凈室敞開門處的滲漏檢測，應在距離門0．3～3．0m處測定潔凈室內的懸浮粒子濃度。
記錄并報告比測得的外部相同粒徑粒子濃度大于10-3倍的讀數和位置。

D．4 認 證

D．4．1 潔凈廠房性能測試認證前，應由業主與認證單位簽訂協議書，協議書中應明確檢測項目、測點位置及數量、測量要求和限值等，如測量空氣懸浮粒子濃度采樣點數、每次最少的空氣采樣量、采樣時間、每個采樣點的測量次數、測量時間間隔、被計數粒子的粒徑，以及粒子數的限值等。

D．4．2 按協議書規定及本附錄第D．2節的要求，以及本附錄第D．3節的方法進行測試，若測試結果在規定的限值之內，說明該潔凈室(區)符合規定要求。若測試結果超過規定的限值，說明該潔凈室(區)不符合要求，應進行改進，在完成改進工作之后，應進行再認證。

D．4．3 每次性能測試或再認證測試應作記錄，并提交性能合格或不合格的綜合報告。測試報告應包括下列內容：
      1 測試機構的名稱、地址；
      2 測試日期和測試者簽名；
      3 執行標準的編號及標準出版日期；
      4 被測試潔凈室(區)的地址、測試項目、測點的特定編號及坐標圖；
      5 被測潔凈室(區)的空氣潔凈度等級、被測粒徑、被測潔凈室(區)所處的狀態、氣流流型和靜壓差、全部采樣點坐標圖上注明所測的粒子濃度；
      6 測量用儀器的編號和標定證書；測試方法細則及測試中特殊情況，
      7 測試結果包括所有測試項目的記錄數據、分析結論等；
      8 對異常測試值進行說明及數據處理；
      9 注明上次的測試日期，
      10 設施的測試檔案可作為下次檢測計劃的依據。

D．4．4 測試機構應提交潔凈室檢驗證書、再檢驗證書。

D．5 記 錄

D．5．1 記錄保存應符合質量控制程序的要求。

D．5．2 應按常規或定期的測試方法和儀表檢測，將初始觀察記錄、計算、數據處理和最終報告，以及測試評價、報告人員簽名和日期

本規范用詞說明

1 為便于在執行本規范條文時區別對待，對要求嚴格程度不同的用詞說明如下：
      1)表示很嚴格，非這樣做不可的用詞
正面詞采用“必須”，反面詞采用“嚴禁”。
      2)表示嚴格，在正常情況下均應這樣做的用詞．
正面詞采用“應”，反面詞采用“不應”或“不得”。
      3)表示允許稍有選擇，在條件許可時首先應這樣做的用詞：
      正面詞采用“宜”，反面詞采用“不宜”，
      表示有選擇，在一定條件下可以這樣做的用詞，采用“可”。

2 本規范中指明應按其他有關標準、規范執行的寫法為“應符合．．．．．．的規定”或“應按．．．．．．執行”。